导读:本文包含了光子集成光路论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:波导,激光器,光子,弯曲,光路,论文,GaAs。
光子集成光路论文文献综述
J,L,Merz,Y,R[1]（1986）在《集成光路和光通信光子学》一文中研究指出本文评述了包括GaAs/AlGaAs双异质结系在内的集成光路研制的最新进展。扼要研究了利用周期波纹即光栅的器件。详细讨论了用化学蚀刻法制作集成光路的尝试。还研究了InGaAsP/InP系。叙述了包括反应离子蚀刻在内的光集成工艺技术的新近进展,同时还叙述了与外延层均匀性相关的波导损耗的近期测量。(本文来源于《半导体光电》期刊1986年02期）
光子集成光路论文开题报告
光子集成光路论文参考文献
[1].J,L,Merz,Y,R.集成光路和光通信光子学[J].半导体光电.1986
论文知识图
