脉冲放电氦离子化检测器在高纯三氟化氮气体分析中的应用

论文摘要

本研究采用带有脉冲放电氦离子检测器的气相色谱仪,并结合阀切割技术,建立高纯三氟化氮中多种痕量杂质的气相色谱快速检测方法。结果表明,高纯三氟化氮中具有O2+Ar、N2、CF4、CO2、N2O等杂质,且该分析方法具有重复性。此法可应用于三氟化氮中多种痕量杂质的快速检测。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 尹强,许俊斌,周阳,毛沅文,叶丽芳,贾相锐,周瑾艳

关键词: 脉冲放电氦离子检测器,三氟化氮,痕量杂质,阀切割

来源: 广东化工 2019年06期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 化学,无机化工

单位: 广东省计量科学研究院

基金: 广东省省级科技计划项目(2016A040403072)

分类号: O657;TQ117

页码: 64-65

总页数: 2

文件大小: 332K

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