高功率脉冲磁控溅射沉积(AlCrNbSiTiV)N薄膜提升刀具的切削性能

高功率脉冲磁控溅射沉积(AlCrNbSiTiV)N薄膜提升刀具的切削性能

论文摘要

通过高功率脉冲反应磁控溅(HIPIMS)在车刀表面溅镀(AlCrNbSiTiV)N高熵合金氮化物薄膜。研究了溅镀功率(120、150、180、210和240 W)对薄膜的形貌、厚度、沉积速率、硬度、弹性恢复率等性质的影响。以50CrMo4铬钼合金钢作为被切削材料,在干式切削条件下考察了切削后工件的表面粗糙度和车刀的腹部磨耗。结果表明,增大溅镀功率可以提高薄膜的硬度和耐磨性,被切削工件的表面质量得到明显的改善,刀具磨损量大大减小。

论文目录

  • 1 实验
  •   1.1 靶材制作
  •   1.2 溅镀(AlCrNbSiTiV)N薄膜
  •   1.3 薄膜微观结构和性能试验
  •   1.4 车削分析试验
  • 2 结果与讨论
  •   2.1 未镀膜刀具的磨耗和工件的表面粗糙度
  •   2.2 溅镀功率对(AlCrNbSiTiV)N薄膜性质的影响
  •     2.2.1 厚度及沉积速率
  •     2.2.2 微观结构
  •     2.2.3 硬度
  •     2.2.4 磨耗试验
  •     2.2.5 刀腹磨耗与工件表面粗糙度
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 刘志伟,何靖国,林宇璇,张良超

    关键词: 铝铬铌硅钛钒,高熵合金,氮化物,高功率脉冲反应磁控溅射,纳米压痕,腹部磨耗

    来源: 电镀与涂饰 2019年13期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑

    专业: 金属学及金属工艺

    单位: 东莞职业技术学院机电工程学院,龙华科技大学机械工程系

    基金: 广东省教育厅2017年度项目(教育科研重大项目)(2017GGXJK097)

    分类号: TG71;TG174.4

    DOI: 10.19289/j.1004-227x.2019.13.008

    页码: 674-679

    总页数: 6

    文件大小: 2083K

    下载量: 117

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