导读:本文包含了微型可编程光栅论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:微型可编程光栅,闪耀角可调,硅微加工,微机电系统
微型可编程光栅论文文献综述
李晓莹,吴焱,虞益挺,刁金帅,闫治晚[1]（2016）在《闪耀角可调微型可编程光栅的优化设计与仿真模拟》一文中研究指出基于体硅微加工技术,设计了一种闪耀角可调的微型可编程光栅,对该光栅进行优化设计,并理论计算不同闪耀角、入射角条件下相对光强分布,采用COMSOL有限元仿真软件模拟不同入射参量下远场相对光强分布.结果表明:设计的可编程光栅有效反射面积占光栅总面积的83.63%,比表面微加工技术设计的光栅提高8%以上,最大工作闪耀角为6.84°;当532nm波长垂直入射时,0~10°闪耀角调制范围内最大衍射效率为96.67%.(本文来源于《光子学报》期刊2016年04期）
虞益挺,苑伟政,燕斌,李太平,姜澄宇[2]（2009）在《一种新型的微型可编程闪耀光栅及其多光谱成像应用》一文中研究指出采用两层多晶硅表面微加工工艺,研制开发了一种新型的微型可编程闪耀光栅.该光栅具有结构简单、工作谱段宽、光谱连续可调等特点.为了实现可工作闪耀角的最大化,有效利用Dimple结构作为栅条的核心功能组件,其高度接近空气间隙.由实验测得,研制的微型可编程闪耀光栅在驱动电压112V作用下能达到的最大可工作闪耀角约5.19°,对应的最大闪耀波长达到中红外4.88μm.在此基础上,以该微型可编程闪耀光栅为核心的分光元件,研究了其在多光谱成像领域应用的可行性,并搭建了多光谱成像系统的原型样机,得到了较好的实验结果.最后,讨论了该成像系统的优点,并提出了进一步研究的建议.(本文来源于《科学通报》期刊2009年19期）
虞益挺,苑伟政,王兰兰,乔大勇,梁庆[3]（2008）在《微型可编程光栅最大闪耀角的理论分析与实验》一文中研究指出在微机电系统技术的基础上,采用两层多晶硅表面微加工工艺,设计并加工制作了一种闪耀角可调式的微型可编程光栅。介绍了微型可编程光栅的基本工作原理及结构设计特点,针对其最主要的一个光学参量——最大闪耀角,根据设计的光栅结构尺寸进行了理论计算,并利用ANSYS有限元仿真结合Matlab软件的数据处理功能进行了数值模拟。设计并搭建了一个简单易操作的光学实验系统,对最大闪耀角进行了实际测量。结果表明,理论计算、数值模拟以及实际测量的最大闪耀角非常吻合,制作的微型可编程光栅的最大闪耀角超过5°。(本文来源于《光学学报》期刊2008年11期）
虞益挺,苑伟政[4]（2008）在《MEMS微型可编程光栅的研究现状(下)》一文中研究指出近十几年来,微机电系统——MEMS技术作为一种使能技术,在各个领域(如机械、生物、光学、射频、能源等)得到了迅速发展,并实现了一定的产业化应用,取得了良好的经济效益。光学MEMS使光学元器件具备了体积小、重量轻、性能稳定、成本及功耗低等显着优点,实现了器件中关键结构的动态可控性,这是传统技术所无法比拟的。本文将在前文的基础上,重点介绍国际上其他的科研机构在MEMS微型可编程光栅相关方面的研究情况,对于每一种光栅结构的特点、制作工艺及其面向的应用领域进行了详细说明,最后讨论了MEMS微型可编程光栅的发展趋势。(本文来源于《仪器仪表学报》期刊2008年06期）
虞益挺,苑伟政[5]（2008）在《MEMS微型可编程光栅的研究现状(上)》一文中研究指出近10几年来,微机电系统——MEMS技术作为一种使能技术,在各个领域(如机械、生物、光学、射频、能源等)得到了迅速发展,并实现了一定的产业化应用,取得了良好的经济效益。光学MEMS使光学元器件具备了体积小、重量轻、性能稳定、成本及功耗低等显着优点,实现了器件中关键结构的动态可控性,这是传统技术所无法比拟的。本文以MEMS微型可编程光栅为核心,介绍了它的特点及其优异性能,并重点阐述了国外已经实现商品化应用的3种MEMS微型可编程光栅的工作原理、结构特点及其典型应用。(本文来源于《仪器仪表学报》期刊2008年05期）
安飞,苑伟政,乔大勇[6]（2007）在《微型可编程光栅实现光谱模拟的方法研究》一文中研究指出当平行复色光沿微型可编程光栅基底平面的垂直方向正入射时,可以通过对可编程光栅编程状态的预先设定,使其衍射输出对应于不同目标物质的光谱。对微型可编程光栅用于光谱模拟的原理进行了分析,提出了一种利用基于梯度的最优化算法在衍射角固定时实现光谱模拟的方法。对该方法进行了实例仿真验证,结果表明了方法的可行性。(本文来源于《光学仪器》期刊2007年02期）
安飞,苑伟政,乔大勇,秦冲[7]（2006）在《微型可编程光栅光谱模拟特性及其应用研究》一文中研究指出研究了基于MOEMS技术的微型可编程光栅的光学特性.对平行复色光正入射时微型可编程光栅的衍射场进行了理论分析,分析表明可以通过对可编程光栅编程状态的预先设定,使其衍射输出对应于不同目标物质的光谱,即模拟光谱.最后介绍了微型可编程光栅的光谱模拟特性在相关光谱检测法中的应用,分析了其相对于传统方法的优点.(本文来源于《传感技术学报》期刊2006年05期）
俞静峰[8]（2006）在《MEMS微型可编程光栅技术研究》一文中研究指出基于光栅技术的光谱分析在物理、化学、天文、生物、冶金学及其他分析领域起着重要的作用。随着科学技术的发展,对光栅技术提出了更高的要求,对新型光栅的研究也受到更加广泛的重视。MEMS技术的出现与发展提供了能根据实际情况实时改变结构参数的光栅——MEMS微型可编程光栅。这种光栅通过静电驱动的方式实现对光栅的结构单元——微变形梁的编程控制。MEMS微型可编程光栅不仅扩展了光栅在传统领域发挥巨大作用,同时促进其在光通讯等领域的广泛应用。因此,对MEMS微型可编程光栅的研究具有重要的研究意义。 本文针对MEMS微型可编程光栅的衍射特性、机械特性等进行了理论分析和仿真,并对它的结构优化设计、加工工艺等一系列关键技术进行了研究。论文的主要研究内容包括: 1.研究MEMS微型可编程光栅的衍射特性,对光栅衍射单元微梁数和各个微梁的高度对衍射特性的影响进行分析,并推导出它的衍射公式。 2.研究作为MEMS微型可编程光栅的结构单元的微变形梁的Pull-in现象,并设计一种新型的、具有大冲程的微变形梁结构。同时对单个电极长度、残余应力等对梁位移的影响进行了分析。 3.研究MEMS微型可编程光栅结构的模态特性、瞬态响应、瞬态回复等机械特性,确定微型可编程光栅设计的一些主要性能参数。 4.采用微机械表面加工工艺对几种不同的光栅单元结构进行版图和工艺设计,并在西北工业大学微/纳米系统实验室完成了对MEMS微型可编程光栅样件的制作。(本文来源于《西北工业大学》期刊2006-03-01）
俞静峰,苑伟政,乔大勇,姜澄宇[9]（2006）在《微型可编程衍射光栅的特性分析》一文中研究指出研究了基于微型光机电系统(MOEM S)的微型可编程衍射光栅。利用波动光学理论推导了在编程状态下它的光强分布公式,对可编程光栅每个衍射单元包含的微梁数和其中的微梁高度等参数变化对其衍射特性的影响进行分析,并对其衍射特性进行仿真验证。验证结果表明:光栅衍射单元包含的微梁数会对衍射光的各个主极大空间位置产生影响,而微梁高度的变化则会引起各衍射主极大之间的光强能量重新分布。(本文来源于《西北工业大学学报》期刊2006年01期）
陈非凡,李云龙,殷玲[10]（2002）在《微型可编程相位光栅的理论特性研究》一文中研究指出本文提出了一种基于微光机电系统 ( MOEMS)的新型可编程相位光栅技术 ,并对其工作原理和理论特性进行了分析和研究 ,同时给出部分数值仿真结果 ,并得出了一些重要的结论。(本文来源于《仪器仪表学报》期刊2002年01期）
微型可编程光栅论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
采用两层多晶硅表面微加工工艺,研制开发了一种新型的微型可编程闪耀光栅.该光栅具有结构简单、工作谱段宽、光谱连续可调等特点.为了实现可工作闪耀角的最大化,有效利用Dimple结构作为栅条的核心功能组件,其高度接近空气间隙.由实验测得,研制的微型可编程闪耀光栅在驱动电压112V作用下能达到的最大可工作闪耀角约5.19°,对应的最大闪耀波长达到中红外4.88μm.在此基础上,以该微型可编程闪耀光栅为核心的分光元件,研究了其在多光谱成像领域应用的可行性,并搭建了多光谱成像系统的原型样机,得到了较好的实验结果.最后,讨论了该成像系统的优点,并提出了进一步研究的建议.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微型可编程光栅论文参考文献
[1].李晓莹,吴焱,虞益挺,刁金帅,闫治晚.闪耀角可调微型可编程光栅的优化设计与仿真模拟[J].光子学报.2016
[2].虞益挺,苑伟政,燕斌,李太平,姜澄宇.一种新型的微型可编程闪耀光栅及其多光谱成像应用[J].科学通报.2009
[3].虞益挺,苑伟政,王兰兰,乔大勇,梁庆.微型可编程光栅最大闪耀角的理论分析与实验[J].光学学报.2008
[4].虞益挺,苑伟政.MEMS微型可编程光栅的研究现状(下)[J].仪器仪表学报.2008
[5].虞益挺,苑伟政.MEMS微型可编程光栅的研究现状(上)[J].仪器仪表学报.2008
[6].安飞,苑伟政,乔大勇.微型可编程光栅实现光谱模拟的方法研究[J].光学仪器.2007
[7].安飞,苑伟政,乔大勇,秦冲.微型可编程光栅光谱模拟特性及其应用研究[J].传感技术学报.2006
[8].俞静峰.MEMS微型可编程光栅技术研究[D].西北工业大学.2006
[9].俞静峰,苑伟政,乔大勇,姜澄宇.微型可编程衍射光栅的特性分析[J].西北工业大学学报.2006
[10].陈非凡,李云龙,殷玲.微型可编程相位光栅的理论特性研究[J].仪器仪表学报.2002