具有高成像精度的高速传感共焦显微成像方法

论文摘要

提出一种高速传感共焦显微成像方法(HSSCM)对样品表面形貌进行高效率、高精度的成像测量。HSSCM将共焦轴向响应曲线沿轴向平移S,然后将平移前后两条曲线相减并除以两曲线的和,继而构成具有不受样品反射率影响的、高信噪比的传感成像特性曲线。在实际扫描成像过程中,轴向扫描间隔同样设定为S对样品进行逐层逐点扫描,扫描完成后将每个测量点轴向多层扫描数据中光强最大值和光强次大值相减除以两者相加,然后利用传感成像特性曲线反算得到样品高度,通过获得每个测量点的样品高度便可实现对样品形貌的高精度测量和3D形貌重构。理论分析和实验表明,通过优选平移量S,和传统共焦显微成像方法相比,HSSCM在具有高成像精度的前提下将扫描成像效率提高了至少3倍。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 孙迎宾,邱丽荣,李荣吉,王允

关键词: 高速,传感,共焦显微,平移量,轴向扫描间隔,成像精度

来源: 光学技术 2019年06期

年度: 2019

分类: 基础科学,信息科技

专业: 物理学,无线电电子学,计算机软件及计算机应用,自动化技术

单位: 北京理工大学光电学院光学测量研究中心精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室

基金: 国家自然科学基金重点项目(61635003),国家杰出青年科学基金(51825501)

分类号: TP212;TP391.41;TN248

DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.06.004

页码: 660-667

总页数: 8

文件大小: 1516K

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