光学监控论文_张法全,王国富,叶金才,刘庆华,陈良益

导读:本文包含了光学监控论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译,主要关键词:光学,薄膜,卡尔,数字,监控系统,自适应,实时。

光学监控论文文献综述

张法全,王国富,叶金才,刘庆华,陈良益[1](2011)在《水下光学监控系统照明方式的研究》一文中研究指出提出了一种确定水下光学监控系统中照明光源方向角和安装位置的方法.利用光在水中的传输特性,分析了传输距离、体积散射函数、散射角和小体积元的影响,以及照明光源不同方向角产生的不同照明效果.据此提出了光源方向角的确定原则,即在满足监控区域要求的前提下,照明光源的方向角应该选取散射角最大的方向.在视场角为45°时,光源方向角应为67.5°.根据监控范围边界的要求以及光源方向角,确定光源安装位置.实际应用结果表明,此方法可以很好地满足水下光学监控系统的要求.(本文来源于《光子学报》期刊2011年07期)

吴小春[2](2009)在《光学薄膜制备及其光学监控技术的研究》一文中研究指出光学薄膜技术已广泛地应用于日常生活、工业、农业、建筑、交通运输、医学、天文学、军事和宇航等多种领域。为了能够制备出高质量满足高要求的光学薄膜,弄清薄膜的制备参数和沉积工艺对薄膜结构和光学性能的影响是极其必要的。另外,准确的控制膜层厚度是制备高质量薄膜的基础。基于这个想法,本工作的研究目的就是,研究制备参数和沉积工艺对薄膜的结构和光学性能的影响,以及如何能够更加准确控制薄膜的厚度。主要内容有:首先,采用电子束蒸发的方法在BK7基片上沉积了不同厚度的ZnS薄膜。分析测量结果发现,制备态的薄膜呈现立方晶体结构,随着基片温度和退火温度的升高,薄膜的结晶性能变好。在退火温度达到500℃时出现了ZnO的衍射峰,薄膜表面被氧化。薄膜表面颗粒尺寸和均方根表面粗糙度随退火温度的升高而增大。另外,无论是基片温度的升高还是退火温度的升高,都会导致折射率的变小。其次,利用热蒸发沉积的方法在室温下制备了不同光学厚度的ZnS薄膜。通过在线光谱测量和宽光谱拟合的方法来确定ZnS薄膜的光学不均质。结果表明:两种方法得到的结果基本一致,折射率和消光系数都随着膜厚的增加而增大,说明薄膜是以扩展型柱状结构生长的,呈正的不均质。薄膜的堆积密度也随着膜厚的增加而增大。再次,提出了一种采用双单波长监控的方法。首先通过导纳方程计算每层膜的灵敏度,而后选择两个合适的监控波长确保每层的停镀点都有一个敏感的监控信号,先前膜层厚度的误差可以得到补偿。从理论和实验上都证明了这种方法的优越性。无论是四分之一波长的规整膜系还是非规整膜系,实验测得的用此方法监控膜系的透射光谱都优于极值法所监控的结果。最后,对氧化钒薄膜做了初步的实验研究,发现热蒸发的氧化钒薄膜的主要成分是V_2O_5,同时还含有少量的VO_2。发现经过一次热循环后,薄膜结构由非晶态转变为结晶态。同时,氧化钒薄膜经历了由半导体向导体转变的过程,电阻变化达到叁个数量级,并且这种相变的转变是可逆的,降温过程电阻温度系数出现了明显的滞后现象。另外,热循环后的薄膜的透射率明显降低,折射率和消光系数都增加。(本文来源于《福建师范大学》期刊2009-04-02)

赵汝进,马孜,姚远程,何长涛[3](2006)在《基于自适应卡尔曼滤波的光学监控信号处理》一文中研究指出针对光学监控系统(Optical Monitor System,OMS)实际工作环境的复杂性,导致监控信号中存在不稳定量测噪声,本文采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波(Adaptive Kalman Filter,AKF)对光学膜厚监控信号进行去噪处理。建立了针对非线性OMS的AKF模型,仿真分析中针对存在突变信噪比(Signal-to-Noise,SNR)的输入信号设置相应AKF初始参数使滤波性能达到最优。结果表明自AKF输出监控信号精度明显优于常规卡尔曼滤波;同时利用AKF输出监控信号判读反射率极值点对应膜厚,最终理论膜厚监控误差<2nm。(本文来源于《中国光学学会2006年学术大会论文摘要集》期刊2006-09-01)

赵汝进,马孜,姚远程,何长涛[4](2006)在《基于自适应卡尔曼滤波的光学监控信号处理》一文中研究指出针对光学监控系统(OM S)实际工作环境的复杂性,导致监控信号中存在不稳定量测噪声,采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波(AKF)对光学膜厚监控信号进行去噪处理。建立了针对非线性OM S的AKF模型,仿真分析中针对存在突变信噪比(SNR)的输入信号设置相应AKF初始参数使滤波性能达到最优。结果表明自AKF输出监控信号精度明显优于常规卡尔曼滤波;同时利用AKF输出监控信号判读反射率极值点对应膜厚,最终理论膜厚监控误差<2nm。(本文来源于《光学仪器》期刊2006年04期)

赵汝进,马孜,姚远程,何长涛[5](2006)在《双相正交数字相敏检波方案在光学监控中的应用与仿真》一文中研究指出提出了采用双相正交数字相敏检波(DPSD)方案设计数字锁相放大器(DLIA)代替传统模拟锁相放大器,并应用到了真空镀膜光学监控系统(OMS)中。针对信噪比(SNRI)和相位延时对方案进行了仿真分析。结果证实了双相正交PSD方案的可行性。由于在输入信号采样频率一定时,OMS精度和实时性之间存在矛盾关系,所以应尽量提高输入信号采样频率以获得高的SNRI。在DLIA中采用低阶滤波器和较高截止频率还可以减轻输出波形过冲效应的影响。(本文来源于《光学技术》期刊2006年S1期)

姚细林,童南春[6](2005)在《基于监控片更换策略的光学监控沉积仿真研究》一文中研究指出在极值法光学膜厚监控中,使用多少监控片且何时更换(即监控片更换策略)在一定程度上是该膜系镀制成功与否的一个关键因素。分析了在反射式极值法光学监控中监控片更换策略的数值模型。根据大量的实验得到的工艺参数,在不同过正控制量下首次进行了监控片更换策略优化的沉积仿真模拟。结果表明:在多腔结构膜系的沉积过程中存在着"假性"极值,容易导致某些膜层厚度的严重误差。不同的过正控制量对光学监控效果会产生明显地影响;所给定的过正控制量存在着最佳的监控片更换策略;合适的变过正控制量可进一步改善薄膜的光学性能。(本文来源于《光学技术》期刊2005年02期)

马孜,肖琦,姚德武[7](2004)在《薄膜光学监控信号的数字信号处理》一文中研究指出为提高光学薄膜的监控精度和薄膜产品成品率,分别采用经典和现代滤波技术设计了相应的数字滤波器,对薄膜光学监控信号进行了处理,对光学监控信号极值点附近的信号进行了分析。理论模拟的结果表明,经典滤波器和现代滤波器对薄膜监控信号的噪声均有较大的滤出作用,但均造成了信号的延迟。进一步用可编程序控制器和组态软件建立了一套监控系统,将两种滤波器串联使用,在可接受的信号延迟时间下,镀制了单腔滤光片,在实验中将光学监控信号的均方根信噪比提高了6DB以上,验证了数字滤波器的作用。(本文来源于《2004年光学仪器研讨会论文集》期刊2004-06-30)

林宇翔,章岳光,顾培夫,唐晋发[8](2004)在《薄膜滤光片淀积过程实时光学监控系统》一文中研究指出介绍了一种薄膜制造实时光学监控系统,对监控系统的组成及各个模块的功能和工作原理进行分析。系统由计算机对信号进行采集、分析和判断,根据膜层的不同特点采取相应的监控方式,可以对各种规整和非规整膜系进行监控,自动开闭蒸发源挡板。(本文来源于《2004年光学仪器研讨会论文集》期刊2004-06-30)

马孜,肖琦,姚德武[9](2004)在《薄膜光学监控信号的数字信号处理》一文中研究指出为提高光学薄膜的监控精度和薄膜产品成品率,分别采用经典和现代滤波技术设计了相应的数字滤波器,对薄膜光学监控信号进行了处理,对光学监控信号极值点附近的信号进行了分析。理论模拟的结果表明,经典滤波器和现代滤波器对薄膜监控信号的噪声均有较大的滤出作用,但均造成了信号的延迟。进一步用可编程序控制器和组态软件建立了一套监控系统,将两种滤波器串联使用,在可接受的信号延迟时间下,镀制了单腔滤光片,在实验中将光学监控信号的均方根信噪比提高了6DB以上,验证了数字滤波器的作用。(本文来源于《光学仪器》期刊2004年02期)

林宇翔,章岳光,顾培夫,唐晋发[10](2004)在《薄膜滤光片淀积过程实时光学监控系统》一文中研究指出介绍了一种薄膜制造实时光学监控系统,对监控系统的组成及各个模块的功能和工作原理进行分析。系统由计算机对信号进行采集、分析和判断,根据膜层的不同特点采取相应的监控方式,可以对各种规整和非规整膜系进行监控,自动开闭蒸发源挡板。(本文来源于《光学仪器》期刊2004年02期)

光学监控论文开题报告

(1)论文研究背景及目的

此处内容要求:

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例:

光学薄膜技术已广泛地应用于日常生活、工业、农业、建筑、交通运输、医学、天文学、军事和宇航等多种领域。为了能够制备出高质量满足高要求的光学薄膜,弄清薄膜的制备参数和沉积工艺对薄膜结构和光学性能的影响是极其必要的。另外,准确的控制膜层厚度是制备高质量薄膜的基础。基于这个想法,本工作的研究目的就是,研究制备参数和沉积工艺对薄膜的结构和光学性能的影响,以及如何能够更加准确控制薄膜的厚度。主要内容有:首先,采用电子束蒸发的方法在BK7基片上沉积了不同厚度的ZnS薄膜。分析测量结果发现,制备态的薄膜呈现立方晶体结构,随着基片温度和退火温度的升高,薄膜的结晶性能变好。在退火温度达到500℃时出现了ZnO的衍射峰,薄膜表面被氧化。薄膜表面颗粒尺寸和均方根表面粗糙度随退火温度的升高而增大。另外,无论是基片温度的升高还是退火温度的升高,都会导致折射率的变小。其次,利用热蒸发沉积的方法在室温下制备了不同光学厚度的ZnS薄膜。通过在线光谱测量和宽光谱拟合的方法来确定ZnS薄膜的光学不均质。结果表明:两种方法得到的结果基本一致,折射率和消光系数都随着膜厚的增加而增大,说明薄膜是以扩展型柱状结构生长的,呈正的不均质。薄膜的堆积密度也随着膜厚的增加而增大。再次,提出了一种采用双单波长监控的方法。首先通过导纳方程计算每层膜的灵敏度,而后选择两个合适的监控波长确保每层的停镀点都有一个敏感的监控信号,先前膜层厚度的误差可以得到补偿。从理论和实验上都证明了这种方法的优越性。无论是四分之一波长的规整膜系还是非规整膜系,实验测得的用此方法监控膜系的透射光谱都优于极值法所监控的结果。最后,对氧化钒薄膜做了初步的实验研究,发现热蒸发的氧化钒薄膜的主要成分是V_2O_5,同时还含有少量的VO_2。发现经过一次热循环后,薄膜结构由非晶态转变为结晶态。同时,氧化钒薄膜经历了由半导体向导体转变的过程,电阻变化达到叁个数量级,并且这种相变的转变是可逆的,降温过程电阻温度系数出现了明显的滞后现象。另外,热循环后的薄膜的透射率明显降低,折射率和消光系数都增加。

(2)本文研究方法

调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

光学监控论文参考文献

[1].张法全,王国富,叶金才,刘庆华,陈良益.水下光学监控系统照明方式的研究[J].光子学报.2011

[2].吴小春.光学薄膜制备及其光学监控技术的研究[D].福建师范大学.2009

[3].赵汝进,马孜,姚远程,何长涛.基于自适应卡尔曼滤波的光学监控信号处理[C].中国光学学会2006年学术大会论文摘要集.2006

[4].赵汝进,马孜,姚远程,何长涛.基于自适应卡尔曼滤波的光学监控信号处理[J].光学仪器.2006

[5].赵汝进,马孜,姚远程,何长涛.双相正交数字相敏检波方案在光学监控中的应用与仿真[J].光学技术.2006

[6].姚细林,童南春.基于监控片更换策略的光学监控沉积仿真研究[J].光学技术.2005

[7].马孜,肖琦,姚德武.薄膜光学监控信号的数字信号处理[C].2004年光学仪器研讨会论文集.2004

[8].林宇翔,章岳光,顾培夫,唐晋发.薄膜滤光片淀积过程实时光学监控系统[C].2004年光学仪器研讨会论文集.2004

[9].马孜,肖琦,姚德武.薄膜光学监控信号的数字信号处理[J].光学仪器.2004

[10].林宇翔,章岳光,顾培夫,唐晋发.薄膜滤光片淀积过程实时光学监控系统[J].光学仪器.2004

论文知识图

光学监控原理图膜厚监控误差及监控片不均匀性对光学层光学监控模拟曲线#膜系1550nm监控波长光学监控...光学监控系统一12镀膜机光学监控示意图

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光学监控论文_张法全,王国富,叶金才,刘庆华,陈良益
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