论文摘要
在不同衬底温度（298、373和473 K）下,采用磁控溅射法在玻璃衬底上成功制备了Co56Ta35B9非晶合金薄膜。利用纳米压痕技术研究了非晶合金薄膜的蠕变行为。结果表明:薄膜的模量和硬度随衬底温度的升高而升高。随着衬底温度的升高,薄膜在蠕变过程中的应变速率敏感指数降低,蠕变抗力增大,剪切转变区体积缩小,塑性降低。采用纳米压痕保载阶段的数据拟合延迟谱,发现衬底温度越高,对应的延迟谱的峰强越低,说明原子排列均匀,从而解释了其模量和硬度提高的原因。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 马昕迪,李培友,王刚
关键词: 非晶合金薄膜,衬底温度,蠕变,应变速率敏感指数,剪切转变体积
来源: 上海金属 2019年06期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 材料科学,金属学及金属工艺,工业通用技术及设备
单位: 上海大学材料科学与工程学院,陕西理工大学材料科学与工程学院
分类号: TG139.8;TB383.2
页码: 39-43
总页数: 5
文件大小: 1520K
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标签：非晶合金薄膜论文; 衬底温度论文; 蠕变论文; 应变速率敏感指数论文; 剪切转变体积论文;