导读:本文包含了激光直写设备论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:激光,光学,设备,精密,软件,精度,元件。
激光直写设备论文文献综述
冯晓国[1]（2005）在《二元光学激光直写设备高精度传动系统的研究》一文中研究指出要制作尺寸达200mm×200mm、最小线宽为1μm的二元光学元件,设备传动系统必须满足大行程、亚微米级定位精度 的需求。通过比较滚珠丝杠传动、直线电机传动及摩擦传动的优缺点,提出了采用滚珠丝杠驱动气体静压导轨实现粗定位、压 电陶瓷驱动柔性铰链实现精确定位、用高精度光栅尺实现闭环反馈控制的技术方案。对导轨刚度及固有频率、丝杠刚度及固 有频率、柔性铰链的转角刚度、光栅尺的反馈误差等影响系统精度的主要因素进行了分析。HP5528A双频激光干涉仪的检测 结果表明:传动系统位移灵敏度达到了0.03μm,定位精度小于0.20μm/100mm。(本文来源于《仪器仪表学报》期刊2005年03期）
刘伟,张景和[2]（2004）在《用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构》一文中研究指出在激光直接写入设备中需要有高分辨力的调焦伺服机构对光刻物镜进行调焦伺服.采用压电陶瓷作为驱动元件、3个柔性铰链组合结构作为导向及执行元件,研制出了一种用于激光直接写入设备的调焦伺服机构.该调焦伺服机构的分辨力为10 nm,行程为10 μm,导向精度为1.37”.是适合纳米定位的理想调焦伺服机构.(本文来源于《哈尔滨工业大学学报》期刊2004年03期）
熊木地,谭久彬,邢忠宝[3]（2003）在《激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究》一文中研究指出在二元光学激光直写设备中,主轴的速度稳定性是影响光刻精度的主要原因之一。提出采用机电混合滤波器消除电机的轴向振动和径向振动对系统的影响,提高主轴系统瞬时运动的平稳性。利用鉴相器输出的频差与相差和主轴电机的速度对锁相调速系统的结构进行优化。同时,利用神经网络改善锁相环系统的非线性特性,并采用模糊参数自调整方法调节控制器的参数。结果表明使用机电混合滤波器可使主轴的轴向与径向振动小于20nm,采用改进的锁相环控制可大大提高主轴的调速范围,并改善其动态性能。(本文来源于《微细加工技术》期刊2003年04期）
冯晓国[4]（2003）在《二元光学激光直写设备传动系统结构设计与分析》一文中研究指出激光直写是衍射光学元件的一种先进制作技术，激光直写设备是采用激光直写技术制作衍射光学元件并开展其研究的物质基础。本文基于中科院长春光机所研制的四轴激光直写设备开展了对其Y轴传动系统的分析研究，可以为相关高精度传动系统的设计和检测提供重要的依据。 本文以二元光学激光直写设备Y轴功能要求和设计指标为基础，提出了该传动系统的总体结构设计方案，并与其它高精度传动方案进行了比较。该传动系统设计方案可以满足长行程、定位精度为亚微米级精度的传动指标要求。同时，对传动系统各个传动环节也提出了具体的结构设计方案，解释了滚珠丝杠副、空气静压导轨、丝杠导轨连接等多个传动环节结构设计的具体思路。对于开展类似结构设计工作，有实际借鉴意义。 对于所提出的传动系统的具体结构，本文也简单地进行了结构性能指标分析。对于该传动系统的最小位移灵敏度、定位精度的影响因素、系统刚度及固有频率都进行了细致的计算，肯定了所提出的结构设计方案。 精度检测环节对于评价设计的优劣是至关重要的，本文也对该传动系统的精度检测过程作了详尽的陈述。介绍了HP5528A双频激光干涉仪、高精度电感测微仪、标准平晶等检测工作中使用的主要检测仪器。重点阐述了传动系统位移灵敏度、导轨直线度、传动系统定位精度的检测过程和检测结果。并简单地评价了检测结果。(本文来源于《中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）》期刊2003-04-01）
李凤友,卢振武,谢永军,张殿文[5]（2002）在《直角坐标和极坐标系一体的激光直写设备(英文)》一文中研究指出介绍了具有直角坐标和极坐标写入系统的激光直写设备 ,给出了该设备制作衍射光学元件的光刻特点(本文来源于《光子学报》期刊2002年05期）
熊木地,张慧敏,肖文礼,邢忠宝[6]（2001）在《二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法》一文中研究指出介绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统 ,分析了主轴伺服系统的结构与控制系统的性能要求。在二元光学元件激光直写设备中 ,主轴速度调节效果的好坏是决定刻划效率与精度的关键因素之一。本文提出了利用离焦信号的特点 ,判断出离焦信号的极值点 ,并计算相邻极值点之间的时间间隔 ,最终估算出离焦信号频带 ,并依据离焦信号的频带自动调节主轴速度的新方法。采用此方法可极大地提高刻划效率。(本文来源于《光电工程》期刊2001年02期）
熊木地,张慧敏[7]（2000）在《二元光学激光直写设备软件的再用技术》一文中研究指出介绍了激光直写设备 (LDWD)的软件系统的组成要求与特点。由于该设备的软件系统庞大而且复杂 ,由于开发周期长 ,开发人员多 ,使得此软件系统的开发与维护变得异常困难。本文提出采用软件组合技术 ,软件生成技术以及面向对象的程序设计技术 ,大大缩短了软件的开发周期与维护时间 ,同时使得系统的功能易于扩展(本文来源于《光学精密工程》期刊2000年06期）
熊木地[8]（2000）在《大行程亚微米精度激光直写设备定位技术的研究》一文中研究指出The Binary Optics Elements(BOE) Laser Direct Writing device is the key device which is used to fabricate Binary Optics Elements. The motion control system of the device is a precision four-axis trace control system. Two-Dimension or three-dimension motion can be realized by the system to produce all kinds of BOE. Because of long distance and high accuracy, making the device will include photolithograph, precision mechanic, 3-dimension precision positioning, focusing, leveling and figure inputting technologies.Base on the most advanced LDWD in the word and fabrication of BOE, the positioning technology of control system of BOE-LDWD is researched into deeply . So this paper consists of following sections:Section 1. According to the actual working situation and the requirement of BOE laser writing device, a complete, compact, real-time, and economical motion control system is designed. The working principle and realized method of each part of the device is presented.Section 2. The characteristics of PZT are analyzed. The control method of PZT isn't suitable for LDWD. A new control circuit is designed, which can satisfy the accuracy and bandwidth of the device.Section 3. Two-stage positioning method is used to realize fast-precision positioning. The high-frequency characteristic of PZT is exploited to make emotion of the device smoother. At the means time, the change ofposition produced by the force releasing of mechanic and the interval of mechanic is smoothed away. The positioning accuracy in 2mm of axes reach.1um. The positioning accuracy in 200mm of axes reach ?.2um. The positioning accuracy in 200mm X 200mm X 40mm of device reach ?.29um.This system has passed a measure of national measure bureau.Section 4. The leveling couple model of LDWD is constructed. The etching head be used to measure the leveling error signal. Uncouple control method is used to realize leveling uncouple. At mean time, the radius of beam be compensated to improve the accuracy of positioning of the etching point.(本文来源于《中国科学院长春光学精密机械与物理研究所》期刊2000-06-01）
熊木地,谢朝,肖文礼,邢忠宝[9]（2000）在《利用CAD图形交换文件实现激光直写设备的运动控制》一文中研究指出分析了激光写入与加工设备的特点。指出了这类设备工作效率低下的主要原因是要求刻划或加工的图形变换的频率高 ,而这类设备的加工元件的编程语言不标准 ,程序采用人工编制 ,且加工工艺复杂 ,从要求刻划与加工的图形到设备的多维运动控制代码的产生是一件非常繁琐的过程。提出了采用 CAD绘图功能作为加工轨迹输入 ,在 CAD绘图环境中加入设备运动的辅助信息 ,然后产生相应的 DXF图形交换文件 ,并开发图形交换文件到运动代码生成的解释软件 ,利用 CAD与解释软件相结合可实现设备的运动代码自动生成 ,可极大地提高编程效率 ,缩短调试时间 ,提高设备的利用率。同时给出实现此方案的步骤与途径。(本文来源于《光学精密工程》期刊2000年02期）
熊木地,肖文礼,邢忠宝[10]（2000）在《激光直写设备调焦伺服控制系统的研究》一文中研究指出精密调焦伺服控制技术属于激光直写设备中的关键技术之一。简要介绍了二元光学激光直写设备的工作原理 ,分析了调焦伺服实现的方法 ,重点分析了由电机与压电陶瓷构成的大范围二级调焦伺服系统的工作原理。提出了采用两点探焦法解决刻划时焦点的跳动问题 ,采用归一化处理消除光强波动对调焦精度的影响。最后 ,给出经过这些方法改进后的调焦特性曲线(本文来源于《光学精密工程》期刊2000年01期）
激光直写设备论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
在激光直接写入设备中需要有高分辨力的调焦伺服机构对光刻物镜进行调焦伺服.采用压电陶瓷作为驱动元件、3个柔性铰链组合结构作为导向及执行元件,研制出了一种用于激光直接写入设备的调焦伺服机构.该调焦伺服机构的分辨力为10 nm,行程为10 μm,导向精度为1.37”.是适合纳米定位的理想调焦伺服机构.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
激光直写设备论文参考文献
[1].冯晓国.二元光学激光直写设备高精度传动系统的研究[J].仪器仪表学报.2005
[2].刘伟,张景和.用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构[J].哈尔滨工业大学学报.2004
[3].熊木地,谭久彬,邢忠宝.激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究[J].微细加工技术.2003
[4].冯晓国.二元光学激光直写设备传动系统结构设计与分析[D].中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）.2003
[5].李凤友,卢振武,谢永军,张殿文.直角坐标和极坐标系一体的激光直写设备(英文)[J].光子学报.2002
[6].熊木地,张慧敏,肖文礼,邢忠宝.二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法[J].光电工程.2001
[7].熊木地,张慧敏.二元光学激光直写设备软件的再用技术[J].光学精密工程.2000
[8].熊木地.大行程亚微米精度激光直写设备定位技术的研究[D].中国科学院长春光学精密机械与物理研究所.2000
[9].熊木地,谢朝,肖文礼,邢忠宝.利用CAD图形交换文件实现激光直写设备的运动控制[J].光学精密工程.2000
[10].熊木地,肖文礼,邢忠宝.激光直写设备调焦伺服控制系统的研究[J].光学精密工程.2000
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