论文摘要
SiC粉体的纯度对生长SiC单晶晶体质量有重要影响。本文介绍了SiC粉体的多种合成方法,并主要阐述了高纯SiC粉体的两种合成方法,最后对高纯SiC粉体的合成工艺进行了展望。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 安振华
关键词: 碳化硅,粉体,自蔓延合成法,半导体材料
来源: 中国粉体工业 2019年02期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑,信息科技
专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备,无线电电子学
分类号: TN304;TQ163.4;TB383.3
页码: 1-3
总页数: 3
文件大小: 1318K
下载量: 113
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