论文摘要
采用等离子法对聚二甲基硅氧烷（PDMS）基体和玻璃进行表面处理,根据所设计的正交实验和对比实验进行键合,探究键合的最优工艺参数组合、键合面积与键合时间的关系以及PDMS基体放置时间与键合面积的关系。实验结果表明:影响PDMS基体-玻璃键合面积因素从主到次为空气流量>清洗时间>射频功率,正交实验所得最优方案参数组合为250W、2L/min、1min;最佳键合时间为12h,在此时间内,键合时间越长,键合效果越好;PDMS基体经过表面处理后,放置时间越长键合面积越小,为保证键合质量,键合实验通常在表面处理后10min内进行。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 严银,李梦一,戴隆超
关键词: 聚二甲基硅氧烷,等离子法,正交实验,键合面积,键合效果
来源: 高分子通报 2019年06期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 材料科学
单位: 扬州大学机械工程学院
分类号: TB306
DOI: 10.14028/j.cnki.1003-3726.2019.06.005
页码: 45-50
总页数: 6
文件大小: 1238K
下载量: 118
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