导读:本文包含了椭偏参数论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:傅立叶,参数,光学,方位角,常数,灵敏度,剂量。
椭偏参数论文文献综述
林远芳,黄强盛,茹启田,孙硕,郑晓东[1]（2011）在《椭偏参数测量误差对薄膜参数测试精度的影响》一文中研究指出为了分析透明均匀介质膜的椭偏方程中所隐含的椭偏参数和薄膜参数(膜厚、折射率)之间的误差关系,提出基于误差传递公式和反函数组定理,通过求出椭偏参数对薄膜参数的偏导在名义膜厚和名义折射率处的值来反求后者对前者的偏导值,进而绘出不同入射角下膜厚和折射率误差与椭偏参数测量误差之间的关系曲线的方法.该法所得结果表明,椭偏参数测量误差导致的膜厚误差和折射率误差并非在同一入射角下达到最小;它们最小时所分别对应的最佳入射角随着入射光波长、薄膜名义膜厚、名义折射率和基片折射率变化而变化;若以各自最佳入射角时所对应测得的膜厚和折射率作为薄膜参数测试值,则能有效提高测量精度.该结论与在激光椭偏仪上的实际测量结果相符.文中方法对分析其他超越方程中多个变量之间的误差关系以及各变量值的优化选取有一定参考价值.(本文来源于《浙江大学学报(工学版)》期刊2011年08期）
黄水花,周全,谭吉春[2]（2009）在《椭偏光谱测量中椭偏参数的灵敏度分析》一文中研究指出在对椭圆偏振测量的基本原理进行了简单介绍和推导后,讨论了椭圆偏振测量中椭偏参数关于薄膜参数的灵敏度以及入射角对椭偏参数的影响,并进行了具体的仿真分析,得到如下结论:椭偏参数Delta对薄膜光学常数和薄膜厚度变化的灵敏度明显高于椭偏参数Psi。在椭偏数据处理中,椭偏参数Delta的测量精度直接影响薄膜光学常数和薄膜厚度的拟合精度。为了提高椭偏参数Delta的测量精度,可以选择入射角在膺布儒斯特角附近。所得结论对高精度椭偏测量具有指导意义。(本文来源于《应用光学》期刊2009年01期）
麻健勇,傅克祥,王植恒,卢向东[3]（2003）在《基于模式理论光栅椭偏参数反演的数值模拟》一文中研究指出将一种广泛用于求解系统优化问题的方法———正单纯形法 ,求解光栅的椭偏方程。首先 ,利用求解光栅的傅立叶模式理论对TE和TM波的复反射系数进行求解 ,然后计算出其相应的椭偏参数 (Δ ,Ψ) ,并在该值的基础上加入不同偏差的随机高斯噪声 ,将加入噪声后的值(Δm,Ψm)作为模拟测量值 ,最后使用优化算法进行反演。通过对几种常用面形光栅椭偏参数的数值模拟 ,一方面表明傅立叶模式理论计算光栅的椭偏参数不仅精度高 ,而且速度快 ;另一方面表明利用正单纯形法得到的光栅参数值很接近于正演时假设的参数值 ,从而从理论上证明了利用椭偏法测量光栅各种光学参数的可行性(本文来源于《激光杂志》期刊2003年05期）
戈兵[4]（1991）在《10.6μm薄膜90°位相延迟片椭偏参数侧量方法的研究》一文中研究指出本文在旋转检偏器式椭偏仪原理的基础上,通过分析影响椭偏参数Ψ、Δ测量精度的主要因素,提出改进的测量方法,从理论上给出提高Ψ、Δ测量精度的途径,并得出了一些有价值的结论。(本文来源于《光学机械》期刊1991年02期）
陈敏麒,罗晋生[5]（1981）在《用非均匀吸收层椭偏参数计算法求离子注入层的损伤分布(文摘)》一文中研究指出作者研究了硅中注入各种不同剂量的P~+、As~+及Al~+时,由椭偏仪结合阳极氧化剥层逐层测得的椭偏参数△和ψ随深度d变化的情况。当注入剂量较产生非晶层的临界注入剂量高到一定程度时,例如我们所用的注入5·10~(15)/厘米~2或10~(10)/厘米~2的P~+及注入10~(15)/厘米~2的As~+情形,得到一些新的实验现象。实验发现由△和ψ算得的表观折射率n和表观消光系数k随深度d振荡而变化,振荡幅度随深度d增大而增大;在注入能量为100kcv的P~+情形,振荡可出现叁个峰值,且在注入区的尾部出现k的谷,其值可达负值。在注入剂量低于(本文来源于《西安交通大学学报》期刊1981年01期）
椭偏参数论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
在对椭圆偏振测量的基本原理进行了简单介绍和推导后,讨论了椭圆偏振测量中椭偏参数关于薄膜参数的灵敏度以及入射角对椭偏参数的影响,并进行了具体的仿真分析,得到如下结论:椭偏参数Delta对薄膜光学常数和薄膜厚度变化的灵敏度明显高于椭偏参数Psi。在椭偏数据处理中,椭偏参数Delta的测量精度直接影响薄膜光学常数和薄膜厚度的拟合精度。为了提高椭偏参数Delta的测量精度,可以选择入射角在膺布儒斯特角附近。所得结论对高精度椭偏测量具有指导意义。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
椭偏参数论文参考文献
[1].林远芳,黄强盛,茹启田,孙硕,郑晓东.椭偏参数测量误差对薄膜参数测试精度的影响[J].浙江大学学报(工学版).2011
[2].黄水花,周全,谭吉春.椭偏光谱测量中椭偏参数的灵敏度分析[J].应用光学.2009
[3].麻健勇,傅克祥,王植恒,卢向东.基于模式理论光栅椭偏参数反演的数值模拟[J].激光杂志.2003
[4].戈兵.10.6μm薄膜90°位相延迟片椭偏参数侧量方法的研究[J].光学机械.1991
[5].陈敏麒,罗晋生.用非均匀吸收层椭偏参数计算法求离子注入层的损伤分布(文摘)[J].西安交通大学学报.1981
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