论文摘要
通过以CYCLONE EP2C35 FPGA芯片为平台,有机地结合嵌入式软件设计和光学镀膜技术,运用石英晶体监控法,通过采集石英晶体监控的信号数据,采用测量膜厚算法和PID控制算法进行综合处理,在Nios Ⅱ IDE开发环境集成的C/OS-Ⅱ嵌入式操作系统下,设计薄膜厚度监测控制系统的镀膜监控菜单显示界面,实现基于FPGA的薄膜厚度监测控制系统。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 朱文武
关键词: 石英晶体监控,测量膜厚,控制
来源: 佳木斯大学学报(自然科学版) 2019年01期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑,信息科技
专业: 材料科学,工业通用技术及设备,自动化技术
单位: 安徽机电职业技术学院电气工程系
基金: 安徽省高校自然科学研究项目(KJ2015A385)
分类号: TP273;TB383.2
页码: 67-69
总页数: 3
文件大小: 693K
下载量: 50
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