用PECVD工艺制备功能装饰氧化硅薄膜的性能

论文摘要

用PECVD技术制备氧化硅薄膜,研究了生成样品的位置对薄膜成分、结构和性能的影响,探讨了制备兼具高透光性和耐刮擦性的功能装饰氧化硅薄膜的方法。结果表明,在阳极位置生成的薄膜具有Si(CH3)nO有机氧化硅结构,在380～780 nm波长范围内透光率高达90%～98%,但是薄膜的结构疏松,硬度仅为2 GPa。提高制备温度可使薄膜硬度提高至6 GPa,但是透光率略有降低;在阴极位置生成的薄膜具有无机氧化硅复合非晶碳结构,薄膜结构致密,硬度可达15 GPa,但是在380～780 nm波长范围内透光性差;增加O2反应气体可促使碳与氧反应生成二氧化碳,非晶碳结构消失,薄膜透光率提高到99%,但是硬度降低到9 GPa。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张栋,柯培玲,汪爱英,王香勇,智理

关键词: 材料表面与界面,氧化硅薄膜,等离子体增强化学气相沉积,功能装饰

来源: 材料研究学报 2019年06期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 材料科学,工业通用技术及设备

单位: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,宁波中骏森驰汽车零部件股份有限公司

基金: 宁波市工业重点项目(2017B10042),慈溪市工业科技计划(2015A07)~~

分类号: TB383.2

页码: 467-474

总页数: 8

文件大小: 6081K

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