氦中三氟化氮气体标准物质的研制

氦中三氟化氮气体标准物质的研制

论文摘要

以高纯三氟化氮为原料气,分别使用红外光谱法及质谱法对其进行定性分析,再利用气相色谱仪及露点仪对其中的杂质进行定量检测,通过质量平衡法测定了原料气的纯度。通过重量法制备氦中三氟化氮气体标准物质,并通过均匀性实验、稳定性实验、重量法定值和不确定度评定对氦中三氟化氮气体标准物质进行了研究。结果表明,其均匀性和稳定性满足F检验和t检验要求,符合标准物质的技术规范,所制备的氦中三氟化氮标准物质具有良好的均匀性和足够的稳定性,相对扩展不确定度为2. 0%(k=2)。该系列气体标准物质可望用于相关仪器的检定校准及半导体生产等相关行业的气体报警器的标定和检测。

论文目录

  • 1 实验部分
  •   1.1 主要仪器与试剂
  •   1.2 实验方法
  •     1.2.1 气相色谱分析方法
  •     1.2.2 原料气体定性、定量分析
  •     1.2.3 重量法定值
  •     1.2.4 均匀性分析
  •     1.2.5 稳定性检验
  • 2 结果与讨论
  •   2.1 定性、定量分析
  •   2.2 均匀性分析
  •   2.3 稳定性检验
  •   2.4 定值
  •   2.5 不确定度评定
  •     2.5.1 配制、称量过程的不确定度
  •     2.5.2 相对合成不确定度
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 尹强,黄彦捷,周阳,毛沅文,叶丽芳,贾相锐,陈玲

    关键词: 三氟化氮,标准物质,重量法,不确定度

    来源: 化学试剂 2019年07期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑

    专业: 无机化工

    单位: 广东省计量科学研究院

    基金: 广东省省级科技计划项目(2016A040403072)

    分类号: TQ117

    DOI: 10.13822/j.cnki.hxsj.2019006899

    页码: 704-709

    总页数: 6

    文件大小: 135K

    下载量: 51

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