导读:本文包含了高频等离子体化学气相淀积论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:等离子体,气相,化学,粒子,超细,论文,二氧化。
高频等离子体化学气相淀积论文文献综述
韩今依,朱宏杰,朱以华,杨根兵,胡黎明[1]（1995）在《高频等离子体化学气相淀积制备氮化硅超细粒子》一文中研究指出利用高频等离子体化学气相淀积方法以四氯化硅及氨为原料，合成了粒度小、粒径分布均匀、氮含量为36.3％的无定形氮化硅粉末。研究了放置环境、合成及热处理环境、进料位置、NH_3与SiCl_4配比等不同的工艺条件对产物氮化硅氮含量的影响。推究了高温下四氯化硅与氨反应合成氨化硅的过程机理。(本文来源于《化工进展》期刊1995年05期）
朱宏杰,王新,李春忠,胡黎明[2]（1994）在《高频等离子体化学气相淀积法制备TiO_2超细粒子》一文中研究指出利用ＴｉＣｌ＿４＋Ｏ＿２体系，在高频等离子体化学气相淀积反应器中合成了纯度高、粒度细的ＴｉＯ＿２粒子。考察了工艺条件对ＴｉＯ＿２粒子物性的影响；探讨了ＴｉＯ＿２粒子晶型控制的方法。金红石型质量分数可通过工艺条件控制，减少ＴｉＯ＿２单体浓度可提高金红石型质量分数；也可通过在原料ＴｉＣｌ＿４中添加ＡｌＣｌ＿３等晶型转化剂，使产品转化为单一金红石型ＴｉＯ＿２。(本文来源于《华东理工大学学报》期刊1994年05期）
高频等离子体化学气相淀积论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
利用ＴｉＣｌ＿４＋Ｏ＿２体系，在高频等离子体化学气相淀积反应器中合成了纯度高、粒度细的ＴｉＯ＿２粒子。考察了工艺条件对ＴｉＯ＿２粒子物性的影响；探讨了ＴｉＯ＿２粒子晶型控制的方法。金红石型质量分数可通过工艺条件控制，减少ＴｉＯ＿２单体浓度可提高金红石型质量分数；也可通过在原料ＴｉＣｌ＿４中添加ＡｌＣｌ＿３等晶型转化剂，使产品转化为单一金红石型ＴｉＯ＿２。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
高频等离子体化学气相淀积论文参考文献
[1].韩今依,朱宏杰,朱以华,杨根兵,胡黎明.高频等离子体化学气相淀积制备氮化硅超细粒子[J].化工进展.1995
[2].朱宏杰,王新,李春忠,胡黎明.高频等离子体化学气相淀积法制备TiO_2超细粒子[J].华东理工大学学报.1994