论文摘要
为了有效降低GaAs表面态密度,获得稳定的高性能钝化膜,使用联氨溶液钝化GaAs（100）表面。通过光致发光对联氨溶液浓度、Na2S浓度和钝化时间进行了优化。联氨溶液钝化后GaAs样品的PL比未处理的增加了1.22倍。采用X射线光电子能谱和原子力显微镜分析了联氨溶液钝化前后GaAs的表面成分和形貌。结果表明,联氨溶液钝化GaAs表面可以有效地去除表面氧化物,形成均匀、平整的GaN钝化层。通过表面稳定性测试发现,钝化后的GaAs表面在空气中放置数天,光致发光强度未见明显的退化（30 d内PL强度降低7%）,说明钝化后GaAs表面的稳定性良好。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 徐雨萌,薄报学,高欣
关键词: 联氨,钝化,光致发光
来源: 发光学报 2019年10期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,信息科技
专业: 物理学,化学,无线电电子学
单位: 长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室
基金: 国家自然科学基金(61774024),国家重点研发计划项目(2017YFB0405100),吉林省科技发展计划(20160203017GX,20170101047JC,20170203014GX,20190302007GX)资助项目~~
分类号: O482.31;TN304;O614.371
页码: 1234-1239
总页数: 6
文件大小: 2710K
下载量: 59
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