导读:本文包含了长轨面形仪论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:倾斜度,误差,论文,长轨面形仪。
长轨面形仪论文文献综述
王春雨[1]（2003）在《EUV/X-ray光学元件倾斜度面形误差检测方法与测量仪器长轨面形仪（LTP）的研究》一文中研究指出极紫外与X射线(EUV／X-ray)光学元件的加工与检测技术的研究是近代短波段光学研究的主要范畴之一。目前世界各发达国家迅速发展的同步辐射光源与光束线工程的建设需要大量的EUV／X-ray光学元件。目前只有少数国家(包括中国)能够研制这种超光滑、高精度的光学元件。其关键技术是加工工艺和检测技术。 本文主要是研究EUV／X-ray光学元件面形误差的测量方法与测量仪器。对已有的测量仪器长轨面形仪LTP仪器进行了改进设计，提供一种新型的长轨面形仪LTP-Ⅲ，用于测量光学元件的倾斜度误差。最后，在结论中，作者提出了对测量仪器LTP-Ⅲ改进与发展的几点设想。(本文来源于《长春理工大学》期刊2003-12-01）
长轨面形仪论文开题报告
长轨面形仪论文参考文献
[1].王春雨.EUV/X-ray光学元件倾斜度面形误差检测方法与测量仪器长轨面形仪（LTP）的研究[D].长春理工大学.2003
论文知识图
