飞秒激光加工碳纳米管薄膜试验研究

飞秒激光加工碳纳米管薄膜试验研究

论文摘要

采用不同的飞秒激光参数(波长、脉冲能量、脉冲数量)加工碳纳米管薄膜微孔,通过拟合获得不同波长下的单脉冲烧蚀阈值,飞秒激光中心波长为1030 nm时的烧蚀阈值为25 mJ·cm-2,波长为515 nm时的烧蚀阈值为39.7 mJ·cm-2。分析了激光参数对材料加工结果的影响规律,结果表明,脉冲能量是影响烧蚀孔径的主要因素,波长较短时可以产生更大区域的碳纳米管抛出物面积。采用拉曼光谱对不同波长下切割得到的材料切口处进行测试,测试结果表明,波长为515 nm的飞秒激光更适合用于碳纳米管薄膜的切割。分析了脉冲能量与扫描速度对切割质量的影响规律,最终在优选的工艺参数下获得了良好的切割质量。

论文目录

  • 1 引 言
  • 2 试验设置
  • 3 结果与分析
  •   3.1 CNTs薄膜单脉冲烧蚀阈值
  •   3.2 飞秒激光主要参数对材料蚀除特性的分析
  •     3.2.1 脉冲能量对微孔加工的影响
  •     3.2.2 脉冲数量对微孔加工的影响
  •     3.2.3 波长对微孔加工的影响
  •   3.3 飞秒激光切割CNTs薄膜
  •     3.3.1 脉冲能量对CNTs薄膜切割的影响
  •     3.3.2 激光扫描速度对CNTs薄膜切割的影响
  • 4 结 论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 吴雪峰,尹海亮,李强

    关键词: 激光技术,飞秒激光,碳纳米管薄膜,烧蚀阈值,微孔形貌

    来源: 中国激光 2019年09期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑,信息科技

    专业: 物理学,材料科学,工业通用技术及设备,无线电电子学

    单位: 哈尔滨理工大学机械动力工程学院,哈尔滨工业大学机电工程学院

    基金: 国家重点研发计划(2018YFB1107600),“理工英才”计划基础研究项目(LGYC2018JC042)

    分类号: TN249;TB383.2

    页码: 81-90

    总页数: 10

    文件大小: 3307K

    下载量: 347

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