论文摘要
针对现役电子级多晶硅还原炉炉内气体循环不强、硅棒桥接处沉积质量较差的问题,提出了调整喷嘴直径的优化方案,并利用建模工具建立了原有设计和优化设计的物理模型,对炉体内部的混合气体流动、硅芯电阻加热、辐射传热等进行了数值模拟计算,计算结果收敛,经后处理得到不同设计下炉体内部流速、温度及硅棒表面温度分布云图。实验表明,在其他工艺条件不变的情况下,优化设计可以提供比原有设计更高的沉积速率和致密料比例。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 梁世民,张胜涛,何银凤,付昊,赵丽丽
关键词: 多晶硅,反应,数值模拟,流动结构,温场优化
来源: 人工晶体学报 2019年03期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司,哈尔滨工业大学化工与化学学院
分类号: TQ127.2
DOI: 10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2019.03.028
页码: 545-549
总页数: 5
文件大小: 226K
下载量: 46
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