基于数值模拟电子级多晶硅还原炉流动结构改进研究

基于数值模拟电子级多晶硅还原炉流动结构改进研究

论文摘要

针对现役电子级多晶硅还原炉炉内气体循环不强、硅棒桥接处沉积质量较差的问题,提出了调整喷嘴直径的优化方案,并利用建模工具建立了原有设计和优化设计的物理模型,对炉体内部的混合气体流动、硅芯电阻加热、辐射传热等进行了数值模拟计算,计算结果收敛,经后处理得到不同设计下炉体内部流速、温度及硅棒表面温度分布云图。实验表明,在其他工艺条件不变的情况下,优化设计可以提供比原有设计更高的沉积速率和致密料比例。

论文目录

  • 1 引言
  • 2 实验
  • 3 结果与分析
  •   3.1 还原炉内部流场分布
  •   3.2 还原炉内部温场分布
  •   3.3 硅棒表面温度分布
  •   3.4 实际生产结果对比
  • 4 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 梁世民,张胜涛,何银凤,付昊,赵丽丽

    关键词: 多晶硅,反应,数值模拟,流动结构,温场优化

    来源: 人工晶体学报 2019年03期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑

    专业: 无机化工

    单位: 青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司,哈尔滨工业大学化工与化学学院

    分类号: TQ127.2

    DOI: 10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2019.03.028

    页码: 545-549

    总页数: 5

    文件大小: 226K

    下载量: 46

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