论文摘要
开展了化学气相沉积（CVD）法在蓝宝石衬底上直接生长石墨烯的制备研究和模拟研究,研究衬底表面形貌和生长温度对石墨烯的影响。运用原子力显微镜（AFM）、X射线衍射（XRD）、场发射扫描电子显微镜（FESEM）、拉曼光谱（Raman）、高分辨透射电子显微镜（HRTEM）等对石墨烯生长开展了微结构研究。模拟研究发现,氢气对衬底表面形貌具有重要影响,在H原子的作用下Al—O键被拉长了51.42%,近乎断裂,因而对蓝宝石衬底的表面粗糙度产生影响。实验发现H2对蓝宝石衬底有刻蚀作用,刻蚀后的蓝宝石衬底表面粗糙度Ra变大,不易于石墨烯生长。随着生长温度的升高,生长的石墨烯质量也逐渐变好。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 邹伟,李多生,洪跃,叶寅,林奎鑫,熊财梓
关键词: 化学气相沉积,石墨烯,蓝宝石,刻蚀
来源: 功能材料 2019年06期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 南昌航空大学材料科学与工程学院
基金: 国家自然科学基金资助项目(51562027),江西省省级优势科技创新团队资助项目(20181BCB24007),江西省教育厅科技资助项目(GJJ170586),江苏省精密与微细制造技术重点实验室基金资助项目(JKL2015001)
分类号: TQ127.11
页码: 6178-6184
总页数: 7
文件大小: 3424K
下载量: 177
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