论文摘要
分别以ITO气化粉和湿法粉为原料,在相同工艺条件下,经过球磨、造粒、成型等工序制备了ITO靶材,研究了ITO气化粉和湿法粉制靶中间品及最终靶材的主要性能。结果表明:模压和CIP后,湿法粉坯体密度均低于气化粉的,但由于ITO湿法粉原料粒径细而均匀,烧结活性更高,故在较低的烧结条件下可制备出更高密度的靶材。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 杨硕,刘冠鹏,赵延飞,段海洋,张伟明
关键词: 气化粉,湿法粉,靶材
来源: 材料开发与应用 2019年03期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑,信息科技
专业: 无机化工,无线电电子学
单位: 中国船舶重工集团公司第七二五研究所
基金: 国家战略性新兴产业发展专项(发改办高技[2012]1029号)
分类号: TN304;TQ133.53
DOI: 10.19515/j.cnki.1003-1545.2019.03.013
页码: 76-80
总页数: 5
文件大小: 1878K
下载量: 112
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