基于超平表面的原子力显微镜探针磨损研究

论文摘要

探针磨损是影响原子力显微镜图像质量的关键因素之一。为了研究原子力显微镜（AFM）探针针尖磨损问题,选取超平表面（Rq<0.5 nm）作为测试样品,采用材料表面的粗糙度（Rq）评估探针针尖磨损效率。在较低的探针悬臂目标振幅比例（10%）,较低反馈回路设定值比例（10%）,较低扫描速度（1.0 Hz）以及适中I-gain（1.7）的测试条件下,探针的磨损最小,可以有效地延长探针的使用寿命。最后利用扫描电镜对比了不同测试条件下探针针尖的形貌,推测了探针针尖在连续测试中磨损与断裂的机理。

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类型: 期刊论文

作者: 柯丁宁,况婷,宋琳琳,黄梦诗,高尚

关键词: 原子力显微镜,针尖磨损,粗糙度,轻敲模式

来源: 分析测试学报 2019年07期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 仪器仪表工业

单位: 哈尔滨工业大学(深圳)实验与创新实践教育中心,哈尔滨工业大学(深圳)材料科学与工程学院

基金: 哈尔滨工业大学(深圳)课程建设资助项目(HITSZUCP18020)

分类号: TH742

页码: 870-873

总页数: 4

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标签：原子力显微镜论文;  针尖磨损论文;  粗糙度论文;  轻敲模式论文;