退火气氛对溶胶-凝胶法制备铝掺杂氧化锌薄膜光电性能的影响

论文摘要

为研究退火气氛对氧化锌（AZO）薄膜光电性能的影响,采用溶胶-凝胶法在石英基片上制备铝掺杂AZO薄膜。利用X射线衍射、场发射电子扫描显微镜对薄膜的物相结构和形貌进行表征;采用霍尔效应测试仪、紫外-可见-红外分光光度计分析AZO薄膜的光电性能。结果表明:退火气氛对AZO薄膜电导的影响机制有明显差异。相较于空气中退火,在N2中退火的AZO薄膜中载流子迁移率变化不明显,薄膜电导性能改善得益于氧空位增加引起的载流子浓度提高;而在95N2/5H2混合气中退火,AZO薄膜中氧空位浓度增加,晶界吸附氧脱附,晶界势垒降低,从而造成载流子浓度和迁移率明显增加,薄膜电阻率为2. 09×10-3Ω·cm。AZO薄膜的透光率在波长400～800 nm的可见光内高于85%。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 胡保付,刘丙国,徐坚,汪舰,杜保立

关键词: 铝掺杂氧化锌薄膜,退火气氛,溶胶凝胶法,光电性能

来源: 河南理工大学学报(自然科学版) 2019年01期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备

单位: 河南理工大学物理与电子信息学院

基金: 国家自然科学基金资助项目(51772076),河南省科技攻关项目(172102210278)

分类号: TQ132.41;TB383.2

DOI: 10.16186/j.cnki.1673-9787.2019.1.22

页码: 147-151

总页数: 5

文件大小: 978K

下载量: 237

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