用于微电机系统的Co-Pt-P磁性薄膜的制备

用于微电机系统的Co-Pt-P磁性薄膜的制备

论文摘要

使用电沉积方法制备了用于微电机系统的Co-Pt-P磁性薄膜。研究了次磷酸钠的浓度对薄膜的沉积速率、厚度、成分、表面形貌及磁性能的影响。结果表明:提高次磷酸钠的浓度,有利于加快沉积速率,提高薄膜中钴和磷的质量分数。Co-Pt-P磁性薄膜是一种典型的瘤状颗粒膜。磷的析出有利于细化薄膜表面颗粒,限制畴壁位移,从而大大提高薄膜的矫顽力。然而,高浓度的次磷酸钠会破坏镀液的稳定性,使薄膜的磁性能下降。

论文目录

  • 0 前言
  • 1 实验
  •   1.1 镀液配方及工艺条件
  •   1.2 实验方法
  •   1.3 性能测试
  • 2 结果与讨论
  •   2.1 电沉积机制
  •   2.2 次磷酸钠对薄膜的沉积速率及厚度的影响
  •   2.3 次磷酸钠对薄膜成分的影响
  •   2.4 次磷酸钠对薄膜表面形貌的影响
  •   2.5 次磷酸钠对薄膜磁性能的影响
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 孙鹏娇

    关键词: 磁性薄膜,电沉积,矫顽力

    来源: 电镀与环保 2019年03期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

    专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备,电力工业

    单位: 吉林电子信息职业技术学院,哈尔滨理工大学

    分类号: TQ153;TB383.2

    页码: 4-6

    总页数: 3

    文件大小: 436K

    下载量: 33

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