论文摘要
介绍了制备人造单晶金刚石的技术途径及发展现状,重点讨论并对比了几种化学气相沉积法(CVD)金刚石制备技术的优缺点,详细阐述了基于微波等离子体CVD (MPCVD)法的同质连接技术——一种突破晶体尺寸限制,实现大尺寸单晶金刚石的有效途径。通过该技术实现了英寸级单晶金刚石晶片的制备,并针对横向生长、界面质量及演化、三维结构连接控制等核心科学技术问题进行了分析和讨论,展望了其在尖端应用领域的发展前景。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 舒国阳,Ralchenko V.,Bolshakov A.,刘康,孙明琪,姚凯丽,赵继文,高鸽,刘本建,王伟华,李一村,刘雪冬,代兵,朱嘉琦
关键词: 人造金刚石,单晶,微波等离子体化学气相沉积,同质连接
来源: 自然杂志 2019年02期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,俄罗斯科学院普通物理研究所
分类号: TQ163
页码: 100-110
总页数: 11
文件大小: 8385K
下载量: 201
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标签：人造金刚石论文; 单晶论文; 微波等离子体化学气相沉积论文; 同质连接论文;