导读:本文包含了自动工艺流程生成论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:工艺流程,工艺,集成电路,步骤,生成器,算法,器件。
自动工艺流程生成论文文献综述
张长富,任泰安,卢德江,蒋庄德[1]（2007）在《表面硅微器件中掩膜和工艺流程的自动生成方法》一文中研究指出为消除目前手工设计掩膜和工艺流程的繁琐过程,提出了一种从表面硅微器件的叁维结构模型自动生成掩膜和工艺流程的方法.该方法将叁维器件模型作为输入,根据其组成特征的几何信息和材料信息识别出基底层、结构层、牺牲层和金属层等所有工艺层,再根据工艺层的结构特点和材料信息自动生成掩膜和工艺流程,并利用SolidWorks软件用户接口开发的应用程序验证了方法的可行性.应用实例表明,该方法不仅可以使设计者专注于器件结构本身的设计,而且易于实现掩膜和工艺流程的自动化生成,比传统的手工设计方法更加直观、高效,为相应的设计工具开发提供了理论分析和实验验证.(本文来源于《西安交通大学学报》期刊2007年09期）
严利人,邰晓鹏[2]（2002）在《工艺流程的自动生成程序MyAPG及其应用》一文中研究指出自动工艺流程生成器对于集成电路生产自动化具有重要意义。文章介绍了一种工艺流程生成程序 My APG,对于程序所用到的工艺库和工艺步骤合并的处理进行了详细说明 ,并给出了利用该程序所得到的流程实例(本文来源于《微电子学》期刊2002年02期）
邰晓鹏[3]（2001）在《工艺流程步骤的自动生成算法和程序》一文中研究指出本论文的主要工作是半导体工艺流程的自动生成。针对采用平面工艺的半导体器件的结构信息，通过单元排序和工艺流程生成两个步骤，生成一个可以实现输入目标要求的工艺流程。平面工艺的方向性，意味着半导体器件结构图中各个结构单元之间存在一定的加工先后顺序，利用这些顺序，并根据器件结构单元的实际情况，合理的引入工艺加工方面的限制，就可以得到唯一的结构单元加工顺序。工艺流程生成是本论文的重点，它是将单元加工顺序扩展为实际的工艺加工流程的过程，主要包括以下几个方面的工作。(1)工艺库的设计。工艺库包括加工模块和定位模块两部分，分别描述当前可以实现的各种加工技术和定位方式。(2)基本流程扩展。根据结构单元的实际情况，并考虑工艺库中各种加工和定位方式的特性，我们可以为每个结构单元确定出合理的加工和定位方式。再通过将加工方法中给出的前导和后续工艺插入到定位序列中，就得到了一个工艺上可行，加工结果符合要求的基本流程。(3)基本流程的优化合并。由于工艺库中对各种加工方法采用统一的描述信息，同时由于在展开过程中没有考虑辅助结构的复用，基本流程中不可避免地存在一些冗余的工艺单步，这需要通过优化合并来实现简化。优化合并包括根据定位的调整以及热处理合并，互补工艺合并和无效工艺去除等多个处理过程。(4)工艺流程生成的计算机实现。为了用计算机实现工艺流程的自动生成，又设计了对工艺单步特性进行描述的单步工艺库，并通过一个简单的查表算法，实现了对工艺单步的定性模拟。在单步工艺库的设计中，充分考虑了它的可扩展性，在一个新的加工方法被开发出来以后，按照单步工艺库中各项内容的含义，对这个新的加工方法进行描述，就可以把它加入到工艺单步库中，这就为将其最终安排到工艺流程中创造了条件。实际上，这也保证了整个流程生成方法的可扩展性。上述处理过程用Visual C++语言，在Microsoft Visual Studio集成环境下实现为自动工艺流程生成程序MyAPG。这个程序具有标准的Windows应用程序界面，操作简便，界面友好。(本文来源于《清华大学》期刊2001-11-01）
严利人,王强[4]（2001）在《用于工艺流程自动生成的排序算法》一文中研究指出文章介绍了一种工艺流程的自动排序算法。该算法将器件的结构作为输入信息 ,利用工艺库 ,得到可制造出该器件的工艺路线。该算法可应用于 VLSI制造的工艺流程卡自动生成(本文来源于《微电子学》期刊2001年02期）
自动工艺流程生成论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
自动工艺流程生成器对于集成电路生产自动化具有重要意义。文章介绍了一种工艺流程生成程序 My APG,对于程序所用到的工艺库和工艺步骤合并的处理进行了详细说明 ,并给出了利用该程序所得到的流程实例
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
自动工艺流程生成论文参考文献
[1].张长富,任泰安,卢德江,蒋庄德.表面硅微器件中掩膜和工艺流程的自动生成方法[J].西安交通大学学报.2007
[2].严利人,邰晓鹏.工艺流程的自动生成程序MyAPG及其应用[J].微电子学.2002
[3].邰晓鹏.工艺流程步骤的自动生成算法和程序[D].清华大学.2001
[4].严利人,王强.用于工艺流程自动生成的排序算法[J].微电子学.2001
论文知识图
