论文摘要
受限于面阵像元尺寸和细分技术,利用面阵器件进行长度测量难以达到亚微米级。提出了一种基于法布里-珀罗（F-P）标准具多光束干涉成像原理的二维亚微米级位移测量方法,通过计算同心干涉圆环圆心坐标变化量得到焦平面内的二维微位移。采用虚拟面阵像元细分和峰位坐标局域细分技术等处理面阵海量信息,减小未定系统误差影响,实现同心干涉圆环圆心坐标的准确求取。实验采用间隔约为2 mm的F-P标准具、焦距约为50 mm的光学透镜,对焦平面内不同位置处的成像同心干涉圆环圆心进行计算,测量范围基本可达到3 mm。实验采用激光相调差动干涉仪进行位移比对测量,在34μm量程范围内,测量结果的直线拟合标准差为0.0154w″（w″为相对像元间隔）,包含因子为2.45时扩展不确定度为0.036w″,验证了该测量方法的准确性。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 沈小燕,蓝旭辉,朱鹤年,孙志鹏,禹静
关键词: 测量,干涉测量法,微位移,法布里珀罗标准具,数理统计
来源: 中国激光 2019年12期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺
单位: 中国计量大学计量测试工程学院,清华大学物理系
基金: 国家自然科学基金面上项目(51875543),国家自然科学基金青年基金(61605193)
分类号: TG806
页码: 163-171
总页数: 9
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标签：测量论文; 干涉测量法论文; 微位移论文; 法布里珀罗标准具论文; 数理统计论文;