导读:本文包含了自晶化论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:硅膜,等离子体增强化学气相沉积,沉积时间,微观结构
自晶化论文文献综述
鲁媛媛,李贺军,杨冠军,蒋百灵,姜子凡[1]（2014）在《等离子体增强化学气相沉积法制备氢化硅膜的自晶化倾向性》一文中研究指出为了探寻生长过程中硅膜的自晶化沉积,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积了氢化硅薄膜,系统研究了不同沉积阶段所得硅膜微观结构的迁变规律。结果表明,硅膜的显微结构依赖于沉积时间,当沉积时间仅为30min时,所得硅膜的结构为非晶;而当沉积时间延至60min时,硅膜形成微晶颗粒;此后随着沉积时间的增加,晶化程度提高,且非晶区域面积相应减小。另外,硅膜的沉积速率也随沉积时间的增加而增加。在硅膜沉积过程中,随时间不断变化的界面状态可能为其自晶化的主要原因。(本文来源于《硅酸盐学报》期刊2014年10期）
王建设,廖森,宋宝玲,孙雅博[2]（2005）在《室温固相法合成ZnCO_3及其自晶化特征》一文中研究指出以ZnSO4-7H2O与NH4HCO3为原料,聚乙二醇-400为模板剂,经室温固相反应合成得到了ZnCO3纳米晶体,其粒径为25nm左右.实验结果表明,在始终保持NH4HCO3过量的条件下可抑制杂质的形成,得到结晶完好的ZnCO3纳米晶体;在研磨反应的20min内,产物ZnCO3已自动晶化成为完好的晶体,无需静置晶化,长时间的静置晶化反而会导致副产物碱式碳酸锌的生成;模板剂对产物组成具有重要的调控作用,有模板剂时得到的是ZnCO3纳米晶体,无模板剂时得到的是含有碱式碳酸锌与ZnCO3的混合物,但以碱式碳酸锌为主.与文献报道的微乳液法相比,可知模板剂是通过与反应物释放出来的结晶水在研磨搅拌作用下形成微乳液体系,从而对产物组成进行调控.(本文来源于《过程工程学报》期刊2005年06期）
自晶化论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
以ZnSO4-7H2O与NH4HCO3为原料,聚乙二醇-400为模板剂,经室温固相反应合成得到了ZnCO3纳米晶体,其粒径为25nm左右.实验结果表明,在始终保持NH4HCO3过量的条件下可抑制杂质的形成,得到结晶完好的ZnCO3纳米晶体;在研磨反应的20min内,产物ZnCO3已自动晶化成为完好的晶体,无需静置晶化,长时间的静置晶化反而会导致副产物碱式碳酸锌的生成;模板剂对产物组成具有重要的调控作用,有模板剂时得到的是ZnCO3纳米晶体,无模板剂时得到的是含有碱式碳酸锌与ZnCO3的混合物,但以碱式碳酸锌为主.与文献报道的微乳液法相比,可知模板剂是通过与反应物释放出来的结晶水在研磨搅拌作用下形成微乳液体系,从而对产物组成进行调控.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
自晶化论文参考文献
[1].鲁媛媛,李贺军,杨冠军,蒋百灵,姜子凡.等离子体增强化学气相沉积法制备氢化硅膜的自晶化倾向性[J].硅酸盐学报.2014
[2].王建设,廖森,宋宝玲,孙雅博.室温固相法合成ZnCO_3及其自晶化特征[J].过程工程学报.2005
标签：硅膜; 等离子体增强化学气相沉积; 沉积时间; 微观结构;