导读:本文包含了准白光干涉测量法论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:测量,希尔伯特,方差,形貌,算子,大类,表面。
准白光干涉测量法论文文献综述
董一帆,万新军,孟涵,解树平[1]（2017）在《快速稳定的白光干涉测量法》一文中研究指出为了减少白光干涉法的采样数据和计算成本,提高测量速度,提出了一种快速稳定的白光干涉测量方法。根据白光干涉显微镜模型,对光学干涉法的数学模型进行了推导分析,确定了干涉光强函数与包络函数之间的关系。在此基础上,提出利用加大采样间隔的离散采样点的希尔伯特变换函数提取干涉信号包络算法,并基于采样原理分析确定了符合算法的采样间隔条件。通过仿真实验对该算法的有效性进行了验证。实际样品的白光干涉光强信号存在直流(DC)偏置噪声,影响快速白光干涉测量法的稳定性,因此采用中值滤波法消除背景噪声,分析滤波后干涉光强包络的质量。通过白光干涉显微镜装置进行了实际样品白光干涉图像采集,并对不同倍率采样间隔重构的叁维表面形貌图进行比较。结果表明,该快速算法重构叁维形貌的速度相比传统方法提高了20倍,同时增强了稳定性。(本文来源于《激光与光电子学进展》期刊2017年05期）
周丽君[2]（2013）在《基于垂直扫描白光干涉测量法的砂轮磨粒测量及评定》一文中研究指出砂轮表面形貌的精密测量是磨削界研究的重点之一。砂轮表面磨粒的出刃高度、刃倾角、分布密度、出刃周长、出刃面积、等效粒径等形貌参数是决定砂轮的切削加工性能和工件表面的加工质量的重要因素。对砂轮形貌进行测量得到评价特征参数有利于控制砂轮的磨削性能、提高产品质量及预测和优化磨削过程。因此，砂轮形貌的检测和评定对磨削过程有着重要的意义。然而砂轮磨粒自身形貌的不规则和分布的随机性，以及磨削过程中磨粒的磨损、脱落、磨屑的堵塞等问题导致砂轮的形貌发生变化使得砂轮形貌的检测更加困难。国内外学者对砂轮形貌的测量进行了大量研究，然而目前没有统一的测量手段和评定方法，在指导实际生产方面还有待进一步的提高。本文基于白光干涉原理对砂轮形貌进行测量，利用连续扫描的干涉图像结合白光干涉算法进行形貌恢复和磨粒识别，从而进行相关特征参数评定，主要的研究工作包括：（1）根据白光干涉原理，研究垂直扫描白光干涉仪在砂轮形貌检测中的应用及其系统参数。（2）探讨基于不同材质的金刚石砂轮表面反光特性不同的磨粒识别原理，根据光强极值差（I）的不同，将边缘检测Canny算子引用到磨粒识别中，利用最大类间方差（OTSU）算法得到自适应的磨粒识别阈值进行磨粒识别。经实验测试不同结合剂下的磨粒、同一磨粒不同采样间距、同一磨粒不同光照强度对磨粒识别的影响，同时对边缘检测效果进行评价。（3）在分析砂轮表面形貌的二维（磨粒出刃面积、周长、等效粒径、长轴长、宽轴长、同形度）和叁维特征参数（磨粒出刃高度和刃倾角）的基础上，重点研究砂轮表面单颗磨粒的二维和叁维特征参数，对多颗磨粒进行二维和叁维特征参数的统计表征。（4）在磨粒识别的前提下，将ISO：12085标准中的2D-Motif评价参数在不同截面上对砂轮形貌进行分析，得到砂轮形貌的粗糙度曲线、波纹度曲线和形状误差曲线，并统计出砂轮形貌的2D-Motif特征参数。(本文来源于《华侨大学》期刊2013-06-04）
高仰月[3]（2006）在《用白光干涉测量法描述化学机械抛光面》一文中研究指出化学机械抛光(CMP)在半导体工业内获得了广泛的赞同,对控制形貌起伏的硅片表面当作首选方法。一种可供选择的基于白光测量原理之上的非接触光学形貌测量法被推出。和大多数商业化只能以纳米精度测量不透明表面的白光干涉测量仪不同,新推出的方法是通过单频相位干涉测量仪(PMI)能够以相似的精度测量透明的可变化反射像的表面结构,这个可变化的反射相也许是由于单层或多层薄膜堆迭在一个底层上的多层表面材料特性所引起的,或者是硅片上其它微结构所引起的。因而,在化学机械抛光加工处理过程中的某些不合格项,例如,碟形腐蚀,可以直接用光学形貌测量法在几秒内做出定量的检测结果。此外,这一方法也能评价附加的,例如特种专用薄膜堆迭层厚的表面特性。由于高精度和高生产能力的结合特征使得这一被提议的方法可能确定为可行的化学机械抛光加工研发和生产的监测方法。(本文来源于《电子工业专用设备》期刊2006年10期）
准白光干涉测量法论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
砂轮表面形貌的精密测量是磨削界研究的重点之一。砂轮表面磨粒的出刃高度、刃倾角、分布密度、出刃周长、出刃面积、等效粒径等形貌参数是决定砂轮的切削加工性能和工件表面的加工质量的重要因素。对砂轮形貌进行测量得到评价特征参数有利于控制砂轮的磨削性能、提高产品质量及预测和优化磨削过程。因此，砂轮形貌的检测和评定对磨削过程有着重要的意义。然而砂轮磨粒自身形貌的不规则和分布的随机性，以及磨削过程中磨粒的磨损、脱落、磨屑的堵塞等问题导致砂轮的形貌发生变化使得砂轮形貌的检测更加困难。国内外学者对砂轮形貌的测量进行了大量研究，然而目前没有统一的测量手段和评定方法，在指导实际生产方面还有待进一步的提高。本文基于白光干涉原理对砂轮形貌进行测量，利用连续扫描的干涉图像结合白光干涉算法进行形貌恢复和磨粒识别，从而进行相关特征参数评定，主要的研究工作包括：（1）根据白光干涉原理，研究垂直扫描白光干涉仪在砂轮形貌检测中的应用及其系统参数。（2）探讨基于不同材质的金刚石砂轮表面反光特性不同的磨粒识别原理，根据光强极值差（I）的不同，将边缘检测Canny算子引用到磨粒识别中，利用最大类间方差（OTSU）算法得到自适应的磨粒识别阈值进行磨粒识别。经实验测试不同结合剂下的磨粒、同一磨粒不同采样间距、同一磨粒不同光照强度对磨粒识别的影响，同时对边缘检测效果进行评价。（3）在分析砂轮表面形貌的二维（磨粒出刃面积、周长、等效粒径、长轴长、宽轴长、同形度）和叁维特征参数（磨粒出刃高度和刃倾角）的基础上，重点研究砂轮表面单颗磨粒的二维和叁维特征参数，对多颗磨粒进行二维和叁维特征参数的统计表征。（4）在磨粒识别的前提下，将ISO：12085标准中的2D-Motif评价参数在不同截面上对砂轮形貌进行分析，得到砂轮形貌的粗糙度曲线、波纹度曲线和形状误差曲线，并统计出砂轮形貌的2D-Motif特征参数。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
准白光干涉测量法论文参考文献
[1].董一帆,万新军,孟涵,解树平.快速稳定的白光干涉测量法[J].激光与光电子学进展.2017
[2].周丽君.基于垂直扫描白光干涉测量法的砂轮磨粒测量及评定[D].华侨大学.2013
[3].高仰月.用白光干涉测量法描述化学机械抛光面[J].电子工业专用设备.2006
论文知识图
