论文摘要
纳米时栅采用交变电场构建匀速参考系,实现空间到时间基准的溯源,提高了测量精度。提出一种基于交变电场的直线式位移时栅传感器。为进一步提升传感器测量精度并实现高精度测量,研究了电气参数对纳米时栅精度的影响,分析了传感单元之间的阻抗特性。针对影响电场分布的阻抗进行分析研究,首先建立传感器的电路模型,依据对电路方程的推导以及电气参数的仿真,分析了阻抗特性引入的误差规律。制作了传感器样机,并搭建实验平台进行了精度测试,验证了推导误差规律,同时借助时空转换原理修改激励信号参数,消除了阻抗特性带来的影响,最终传感器对极内精度达到±0. 4μm。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 孟瑶,周启武,郑方燕,刘小康,施海
关键词: 纳米时栅,电气参数,阻抗特性,误差特性
来源: 重庆理工大学学报(自然科学) 2019年06期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑,信息科技
专业: 材料科学,自动化技术
单位: 重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心
基金: 国家自然科学基金资助项目(51435002),国家重大科研仪器研制项目(51827805),重庆高校创新团队项目(CXTDX201601029)
分类号: TB383.1;TP212
页码: 65-71
总页数: 7
文件大小: 266K
下载量: 42
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