导读:本文包含了微动工作台论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:工作台,铰链,柔性,静压,倒角,刚度,堆栈。
微动工作台论文文献综述
于月民,丁元柱,于丽艳,盖芳芳[1]（2019）在《二维微动工作台设计及仿真分析》一文中研究指出为消除直梁S形柔性铰链的应力集中,提出了倒角S形柔性铰链,并利用能量法推导了倒角S形柔性铰链的刚度计算公式,分析结构参数对其刚度性能的影响。基于倒角S形柔性铰链和压电堆栈驱动器设计了一种二维微动工作台,应用ANSYS软件对其进行仿真分析。(本文来源于《煤矿机械》期刊2019年09期）
李尧[2]（2016）在《压电陶瓷驱动的微动工作台建模与控制研究》一文中研究指出微动工作台是超精密加工、精密驱动、精密测量等前沿学科研究中应必备的关键仪器设备。压电陶瓷由于具有压电效应,可以产生纳米级别的伸缩变形,目前广泛作为微动工作台的驱动器。然而压电式的微动工作台固有的迟滞特性、蠕变特性和动态特性严重影响了微动工作台的定位精度。本文主要以压电陶瓷作为驱动器,以柔性铰链作为支撑导轨的一体式的压电微动工作台作为研究对象,设计了压电微动工作台的上位机数据采集程序和控制软件,然后针对压电微动工作台的迟滞特性和动态特性进行建模和控制研究。具体的研究内容有以下几个方面：1.针对XP-611型压电微动工作台,搭建了压电微动工作台的的实验系统。实验系统由以下几个工作模块组成：位移传感模块、驱动电源模块、压电微动工作台、计算机机控制系统。2.在搭建的实验系统基础上,在Labview开发环境下编写了数据采集程序,对压电微动工作台的迟滞特性、动态特性和蠕变特性进行了测试分析。分析结果表明,压电微动工作台的蠕变特性对定位精度影响较小,在对定位精度要求不是极高的情况下蠕变特性可以忽略不予考虑。而迟滞特性和动态特性对于压电微动工作台的定位精度影响较大。当压电微动工作台工作在小范围慢速定位条件下迟滞特性和动态特性都体现的不明显,当工作在慢速定位条件下主要体现迟滞特性,动态特性表现不明显。而在大范围快速定位条件下,这时候动态特性和迟滞特性表现的较为严重,对定位精度影响极大。3.综合考虑微动工作台的动态特性和迟滞特性,建立了微动工作台的数学模型。其中迟滞特性建模采用PI模型,阈值采用非等分阈值法确定,权重系数首先在离线条件下拟合初载曲线进行辨识,然后在工作台工作条件下进行在线修正。动态特性建模采用二阶系统,其传递函数模型中的各参数通过频率分析法进行确定。通过精密微动实验平台,进行了二阶系统模型参数识别和PI迟滞模型参数识别。4.将具有快速响应特性的CMAC神经网络引入到压电微动工作台的控制中来,综合考虑CMAC神经网络控制和传统的PID控制,将二者相互结合,设计了压电微动工作台的CMAC-PID复合控制器。利用Matlab对PID控制和CMAC-PID复合控制分别进行了仿真。在Labview的开发环境下编写了压电微动工作台的上位机控制程序,分别对两种控制进行了跟踪实验对比。通过对仿真和实验数据的分析,得出CMAC-PID复合控制对于压电微动工作台的控制是有效的。(本文来源于《昆明理工大学》期刊2016-04-01）
林杰俊,李东升,沈小燕[3]（2013）在《二维微动工作台的定位误差补偿实验》一文中研究指出随着科学技术的发展,超精密定位技术在各领域得到了广泛应用,它的研究对MEMS技术的发展具有重要的意义。对具有纳米定位精度的二维微动工作台的定位误差进行研究。首先,对分辨率为0.15 nm的双频激光干涉仪进行了测量误差分析,其标定二维微动工作台时的测量精度为14.4 nm;利用该激光干涉仪标定时温漂的近线性关系去除了定位误差中的综合误差,采用反相补偿法对定位误差中的系统误差进行了补偿。测得该工作台补偿前的定位误差在250~300 nm之间,在空气弹簧隔振平台上进行了误差补偿实验,测得补偿后两轴的定位误差分别为20 nm和25 nm左右。实验证明了该种方法用于补偿纳米定位系统的可行性。(本文来源于《机床与液压》期刊2013年21期）
雷勇,伍小兵[4]（2013）在《磁悬浮式离心铸造机微动工作台控制策略》一文中研究指出结合交直流混合驱动的磁悬浮式微运动新思想,设计了1种新型的磁悬浮式微动工作台;针对磁悬浮式离心铸造机微动工作台的开环控制不稳定性,分别设计超前滞后控制器和PID控制器应用在工作台水平方向微运动控制中;利用Matlab软件对离心铸造机微动工作台进行仿真。仿真结果表明,PID控制器的离心铸造机性能明显优于超前滞后控制器离心铸造机的工作心能,说明PID控制策略适合该磁悬浮式离心铸造机微动工作台的运动控制。(本文来源于《铸造技术》期刊2013年07期）
雷勇,伍小兵[5]（2013）在《新型磁悬浮式离心铸造机微动工作台研究》一文中研究指出针对离心铸造机工作原理,提出了一种交直流混合驱动的磁悬浮式微运动新方法,设计了一种新型的磁悬浮式微动工作台,可实现大范围6自由度微运动和恒高度微运动。根据绕组电流和气隙及驱动力关系方程,绘制了绕组电流与气隙和驱动力力关系曲线,最后在开环状态下进行了该磁悬浮式微动工作台的稳定性试验和一维微运动试验。实验结果初步验证了本文设计的磁悬浮式离心铸造机微动工作台的可行性。(本文来源于《铸造技术》期刊2013年06期）
陈远晟,裘进浩,季宏丽[6]（2013）在《压电式二维微动工作台的迟滞补偿与解耦控制》一文中研究指出为了提高压电式二维微动工作台的定位精度,基于改进的Prandtl-Ishlinskii模型设计了前馈与解耦控制器,并结合反馈控制器开发了复合控制系统.在分析x与y方向电压与位移之间迟滞关系的基础上,前馈控制器通过改进的Prandtl-Ishlinskii模型描述迟滞的逆过程,分别补偿了x与y方向的迟滞.解耦控制器通过改进型Prandtl-Ishlinskii模型估算耦合位移值,修正驱动电压,抵消耦合效应引起的位移.复合控制系统结合了前馈与解耦控制器,并加入PID反馈控制进一步提高定位精度.实验结果表明:控制前,x方向与y方向定位误差的最大绝对值分别是4.16μm和4.18μm,而采用复合控制后定位误差的最大绝对值降为0.06μm和0.07μm.这种复合控制方法能够补偿压电式微动工作台的迟滞非线性,无需改变结构或更换零件就能减小耦合效应,有效地提高微动工作台定位精度.(本文来源于《纳米技术与精密工程》期刊2013年03期）
韦宣,乐静,申阿维,邵伟[7]（2013）在《用于微动工作台的光纤位移传感器设计》一文中研究指出针对微动工作台定位中遇到的位移检测问题,探讨了一种反射式光纤位移传感器。通过分析光纤耦合原理设计了发射接收光纤探头的结构;选择高亮度LED和高灵敏度硅光电池,提高了传感器的抗干扰能力和增强了信号强度;检测电路实现了对信号的去零、放大,从而提高分辨率,解决了这类传感器的线性范围小所引起的不足。实验结果表明:在0～200μm的量程内分辨率能达到亚微米级。(本文来源于《传感器与微系统》期刊2013年01期）
陈冬,陶智[8]（2012）在《微动工作台行程放大结构的设计和分析》一文中研究指出研究开发了一种新型的大行程二维压电微动工作台。介绍了弧曲位移放大机构的工作原理,分析了影响放大机构性能的因素;工作台的柔性铰链、弹性平行导板机构、弧曲位移放大机构,采用一体化设计,实现了大行程,并满足了传动导向的高精度、高稳定性要求;与采用杠杆放大的二维工作台作了简单比较,对各自的优缺点作了客观分析。(本文来源于《现代导航》期刊2012年04期）
沈健,俞涛,张海岩[9]（2012）在《新型二自由度微动工作台的设计和有限元分析》一文中研究指出介绍了一种无耦合运动的二自由度微位移工作台,该结构便于微位移工作台尺寸的小型化。文中推导了工作台载荷与位移的关系式;采用有限元的方法对工作台叁维模型进行仿真计算,得到该工作台对应于载荷的位移和应力值。有限元计算的结果和推导公式的计算结果相吻合。(本文来源于《机械工程师》期刊2012年07期）
黄瑜瑜[10]（2011）在《二维微动精密工作台》一文中研究指出二维微动精密工作台是一种高精度的测量系统,用于扫描测量被测件表面的微观形貌,在扫描测量工作中要求达到微米级的运动精度,为此建立了X-Z方向的精密运动平台,在二维测量方向上分别达到相应的测量精度要求,并对静压气浮导轨、精密滚动丝杆、滚动摩擦导轨控制等关键技术进行了研究。静压气浮导轨采用了有限元法的设计,使其具有较高的承载能力和刚度。该装置采用模糊PID控制技术,改善了非线性因素的影响,从而获得较高的稳态位置精度。(本文来源于《科技传播》期刊2011年19期）
微动工作台论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
微动工作台是超精密加工、精密驱动、精密测量等前沿学科研究中应必备的关键仪器设备。压电陶瓷由于具有压电效应,可以产生纳米级别的伸缩变形,目前广泛作为微动工作台的驱动器。然而压电式的微动工作台固有的迟滞特性、蠕变特性和动态特性严重影响了微动工作台的定位精度。本文主要以压电陶瓷作为驱动器,以柔性铰链作为支撑导轨的一体式的压电微动工作台作为研究对象,设计了压电微动工作台的上位机数据采集程序和控制软件,然后针对压电微动工作台的迟滞特性和动态特性进行建模和控制研究。具体的研究内容有以下几个方面：1.针对XP-611型压电微动工作台,搭建了压电微动工作台的的实验系统。实验系统由以下几个工作模块组成：位移传感模块、驱动电源模块、压电微动工作台、计算机机控制系统。2.在搭建的实验系统基础上,在Labview开发环境下编写了数据采集程序,对压电微动工作台的迟滞特性、动态特性和蠕变特性进行了测试分析。分析结果表明,压电微动工作台的蠕变特性对定位精度影响较小,在对定位精度要求不是极高的情况下蠕变特性可以忽略不予考虑。而迟滞特性和动态特性对于压电微动工作台的定位精度影响较大。当压电微动工作台工作在小范围慢速定位条件下迟滞特性和动态特性都体现的不明显,当工作在慢速定位条件下主要体现迟滞特性,动态特性表现不明显。而在大范围快速定位条件下,这时候动态特性和迟滞特性表现的较为严重,对定位精度影响极大。3.综合考虑微动工作台的动态特性和迟滞特性,建立了微动工作台的数学模型。其中迟滞特性建模采用PI模型,阈值采用非等分阈值法确定,权重系数首先在离线条件下拟合初载曲线进行辨识,然后在工作台工作条件下进行在线修正。动态特性建模采用二阶系统,其传递函数模型中的各参数通过频率分析法进行确定。通过精密微动实验平台,进行了二阶系统模型参数识别和PI迟滞模型参数识别。4.将具有快速响应特性的CMAC神经网络引入到压电微动工作台的控制中来,综合考虑CMAC神经网络控制和传统的PID控制,将二者相互结合,设计了压电微动工作台的CMAC-PID复合控制器。利用Matlab对PID控制和CMAC-PID复合控制分别进行了仿真。在Labview的开发环境下编写了压电微动工作台的上位机控制程序,分别对两种控制进行了跟踪实验对比。通过对仿真和实验数据的分析,得出CMAC-PID复合控制对于压电微动工作台的控制是有效的。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微动工作台论文参考文献
[1].于月民,丁元柱,于丽艳,盖芳芳.二维微动工作台设计及仿真分析[J].煤矿机械.2019
[2].李尧.压电陶瓷驱动的微动工作台建模与控制研究[D].昆明理工大学.2016
[3].林杰俊,李东升,沈小燕.二维微动工作台的定位误差补偿实验[J].机床与液压.2013
[4].雷勇,伍小兵.磁悬浮式离心铸造机微动工作台控制策略[J].铸造技术.2013
[5].雷勇,伍小兵.新型磁悬浮式离心铸造机微动工作台研究[J].铸造技术.2013
[6].陈远晟,裘进浩,季宏丽.压电式二维微动工作台的迟滞补偿与解耦控制[J].纳米技术与精密工程.2013
[7].韦宣,乐静,申阿维,邵伟.用于微动工作台的光纤位移传感器设计[J].传感器与微系统.2013
[8].陈冬,陶智.微动工作台行程放大结构的设计和分析[J].现代导航.2012
[9].沈健,俞涛,张海岩.新型二自由度微动工作台的设计和有限元分析[J].机械工程师.2012
[10].黄瑜瑜.二维微动精密工作台[J].科技传播.2011
论文知识图
