论文摘要
采用电弧离子镀技术制备了Cr/CrN多层膜,通过控制每个Cr层和CrN层的沉积时间获得不同调制比,从微观组织和腐蚀行为两方面研究了调制比对Cr/CrN多层膜的影响。结果表明,引入Cr层对CrN薄膜沉积过程中生长的柱状结构有抑制作用,孔隙率更低,结构更加致密。动电位极化曲线和电化学阻抗谱表明,与纯CrN薄膜相比,Cr/CrN多层膜的腐蚀电位增加了约100 mV,腐蚀电流密度降低一个数量级以上,多层膜的耐腐蚀性能得到明显提升。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 李昊,王东伟,张川,刘婵,黄美东
关键词: 多弧离子镀,多层膜,耐腐蚀,调制比
来源: 真空 2019年03期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺
单位: 天津师范大学物理与材料科学学院
分类号: TG174.4
DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.03.05
页码: 21-26
总页数: 6
文件大小: 2530K
下载量: 141
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