磁控溅射低温制备高电导高透明氢掺杂薄膜

论文摘要

通过分析直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜实验,明确了溅射技术对于低温制备AZO薄膜的重要作用。由此可以证明,引入适量氢气,有利于提升AZO薄膜的电阻率。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张敏,杜鹃

关键词: 直流磁控溅射技术,低温制备,高电导,高透明,氢掺杂薄膜

来源: 中国新技术新产品 2019年05期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 材料科学,工业通用技术及设备

单位: 青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司

分类号: TB383.2

DOI: 10.13612/j.cnki.cntp.2019.05.006

页码: 12-13

总页数: 2

文件大小: 1699K

下载量: 73

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