论文摘要
全息曝光系统中干涉条纹的稳定性直接影响光栅掩模质量。研究了参考干涉条纹的特性,提出一种光栅相位、倾斜度和周期的检测方法。为提高光栅曝光系统的稳定性,设计了一套全息光栅干涉条纹三维锁定系统。利用摄像机对参考干涉条纹进行检测,利用微电机和压电陶瓷对光路进行微调,可实现对光栅相位、倾斜度和周期的有效控制。实验结果表明,三维锁定系统可有效提高干涉条纹的稳定性,缩短光栅曝光前的静台稳定时间,提高光栅曝光对比度,可为大口径全息光栅曝光质量的提高提供技术支持。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 钱国林,吴建宏,李朝明,成珏飞
关键词: 光栅,干涉条纹,曝光对比度,条纹锁定
来源: 光学学报 2019年04期
年度: 2019
分类: 基础科学
专业: 物理学
单位: 苏州大学光电科学与工程学院,苏州市职业大学电子信息工程学院江苏省光伏发电工程技术研究开发中心
基金: 国家自然科学基金(61178046),江苏省高校自然科学研究重大项目(11KJA14001),苏州市职业大学青蓝工程(3170102),苏州市职业大学光伏材料与器件创新团队(201804000061)
分类号: O436.1
页码: 65-71
总页数: 7
文件大小: 775K
下载量: 155
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