导读:本文包含了液体微滴喷射靶论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:等离子体,液体,激光,射线,反射率,光刻,碎屑。
液体微滴喷射靶论文文献综述
尼启良,陈波[1]（2008）在《CO_2,O_2,CF_4液体微滴喷射靶激光等离子体光源光谱》一文中研究指出基于软X射线辐射计量和极紫外投影光刻(EUVL)应用,研制了一台使用纳秒激光器的液体微滴喷射靶激光等离子体(LPP)极紫外光源。该光源由一个可连续控温的不锈钢电磁喷气阀门、YAG激光器和能同步控制喷气阀门和激光器的脉冲发生器组成。使用液氮作致冷剂,控温范围77～473 K。对于足够高的背景气压和低的阀门温度,当气体经过阀门脉冲式地喷入真空靶室内时,气体经过气-液相变碎裂成大量的液体微滴形成液体微滴喷射靶。首先,依据非相对论量子力学理论,使用原子光谱分析常用的Cowan程序,计算了O2,CO2和CF4等几种液体在1011～1012W.cm-2激光功率密度下可能相应产生的O4+,O5+,O6+,O7+,F5+,F6+和F7+离子的电偶极辐射跃迁波长和跃迁概率。其次,在激光焦点功率密度为8×1011W.cm-2时,测量了CO2,O2,CF4液体微滴喷射靶在6～20 nm波段的光谱。理论计算结果与实验结果相比较,得出了所测量谱线的电偶极辐射跃迁波长和跃迁概率以及跃迁能级所应归属的组态和光谱项。(本文来源于《光谱学与光谱分析》期刊2008年11期）
齐立红[2]（2005）在《液体微流喷射靶激光等离子体软X射线—极紫外光源研究》一文中研究指出摘要激光等离子体(LPP)光源作为一种新型的软X射线光源,其研究始于二十世纪七十年代。随着极紫外投影光刻以及辐射计量等应用领域对光源的要求的不断提高,LPP软X射线-极紫外光源保持不断的向前发展。本论文即是研究一种新型的LPP软X射线-极紫外光源。本文首先综述了LPP软X射线光源的研究发展状况和最新进展。尽管先后研制了多种类型的LPP软X射线光源,但是仍然存在不足,说明开展新型的LPP软X射线光源研究的必要性。其次,从理论上介绍了激光在等离子体中的传播特性及激光与等离子体的相互作用。并且依据非相对论量子力学理论,利用Cowan程序,计算了O3+、O~(4+)、O5+、C~(4+)、Cl~(8+)、Cl~(7+)、Cl~(5+)、Cl~(4+)和Cl~(3+)等离子的电偶极辐射跃迁波长和跃迁几率,为光谱诊断提供依据。根据流体力学规律和相关的研究成果以及真空系统要求,结合低温制冷技术,设计加工了液体微流喷射靶。它由喷嘴、阀门、高压腔和控温组件等部分构成。以液体微流喷射靶和激光器为主体,研制出液体微流喷射靶激光等离子体软X射线-极紫外光源。光源能够使用多种靶材,包括常温下液体和气体。利用Mcpherson247型单色仪和光电二极管为主体的一套光谱测量装置,测量了水、乙醇、丙酮和四氯化碳这些常温下液体靶材的液体微流喷射靶LPP光源在11-20nm的辐射光谱,另外测量了常温下气态的Xe和Kr液体微流喷射靶LPP光源在11-20nm的软X射线辐射光谱。实验研究表明光源光谱辐射稳定性达到7%。(本文来源于《中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）》期刊2005-12-01）
尼启良[3]（2003）在《液体微滴喷射靶激光等离子体软X射线源研究》一文中研究指出液体微滴喷射靶激光等离子体(LPP)光源是一种具有较高的软X射线转换效率且能够长期连续运行的低碎屑光源。在极紫外投影光刻及辐射计量等领域有着重要应用价值和广阔的发展前景。 在理论方面，首先依据非相对论量子力学理论，使用原子光谱分析常用的Cowan程序，计算了O_2、CO_2、CF_4、Kr和Xe等几种液体在10~(11)～10~(12)W／cm~2激光功率密度下可能相应产生的O~(4+)、O~(5+)、O~(6+)、O~(7+)、F~(5+)、F~(6+)、F~(7+)、Kr~(6+)、Xe~(6+)离子的电偶极辐射跃迁波长和跃迁几率。根据理论计算结果，对液体微滴喷射靶激光等离子体光源的工作物质、激光打靶条件、光源结构参数进行了优化。 其次，利用低温制冷技术研制出一台可连续控温的液体微滴喷射靶LPP光源。光源具有连续和脉冲喷射两种工作模式，能使用多种气—液相变温度高于液氮温度的非腐蚀性气体工作。其中Xe液体微滴喷射靶在13.4nm的最高转换效率达到0.75％／2πsr／2％bw，其光谱辐射稳定性约为8％(1σ)。 在实验上，建成了一套高光谱分辨率和高灵敏度的软X射线脉冲辐射测量装置。测量了CO_2、O_2、CF_4、Kr和Xe液体微滴喷射靶LPP光源在6～20nm波段的软X射线辐射光谱。 最后，用低碎屑液体微滴喷射靶LPP光源代替污染严重的金属靶LPP光源，改建了一台波段范围8～30nm的软X射线反射率计，并对软X射线多层膜的反射率进行了大量测量，反射率测量重复性达到±2％。(本文来源于《中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）》期刊2003-07-21）
液体微滴喷射靶论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
摘要激光等离子体(LPP)光源作为一种新型的软X射线光源,其研究始于二十世纪七十年代。随着极紫外投影光刻以及辐射计量等应用领域对光源的要求的不断提高,LPP软X射线-极紫外光源保持不断的向前发展。本论文即是研究一种新型的LPP软X射线-极紫外光源。本文首先综述了LPP软X射线光源的研究发展状况和最新进展。尽管先后研制了多种类型的LPP软X射线光源,但是仍然存在不足,说明开展新型的LPP软X射线光源研究的必要性。其次,从理论上介绍了激光在等离子体中的传播特性及激光与等离子体的相互作用。并且依据非相对论量子力学理论,利用Cowan程序,计算了O3+、O~(4+)、O5+、C~(4+)、Cl~(8+)、Cl~(7+)、Cl~(5+)、Cl~(4+)和Cl~(3+)等离子的电偶极辐射跃迁波长和跃迁几率,为光谱诊断提供依据。根据流体力学规律和相关的研究成果以及真空系统要求,结合低温制冷技术,设计加工了液体微流喷射靶。它由喷嘴、阀门、高压腔和控温组件等部分构成。以液体微流喷射靶和激光器为主体,研制出液体微流喷射靶激光等离子体软X射线-极紫外光源。光源能够使用多种靶材,包括常温下液体和气体。利用Mcpherson247型单色仪和光电二极管为主体的一套光谱测量装置,测量了水、乙醇、丙酮和四氯化碳这些常温下液体靶材的液体微流喷射靶LPP光源在11-20nm的辐射光谱,另外测量了常温下气态的Xe和Kr液体微流喷射靶LPP光源在11-20nm的软X射线辐射光谱。实验研究表明光源光谱辐射稳定性达到7%。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
液体微滴喷射靶论文参考文献
[1].尼启良,陈波.CO_2,O_2,CF_4液体微滴喷射靶激光等离子体光源光谱[J].光谱学与光谱分析.2008
[2].齐立红.液体微流喷射靶激光等离子体软X射线—极紫外光源研究[D].中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）.2005
[3].尼启良.液体微滴喷射靶激光等离子体软X射线源研究[D].中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）.2003
论文知识图
