ZnS薄膜在532nm波长激光辐照下的光谱透射及激光损伤特性

论文摘要

为探究ZnS薄膜的激光辐照效应,采用热蒸发沉积技术制备了ZnS薄膜,探究了薄膜在532nm波长激光诱导辐照下,不同能量阶和不同脉冲数对薄膜折射率、消光系数、损伤形貌、表面粗糙度和激光损伤阈值的影响。研究结果表明:ZnS薄膜的平均损伤阈值为1.59J·cm-2,用平均阈值能量的60%对薄膜进行辐照处理后,可将ZnS薄膜在532nm处的折射率从2.360 4提高到2.384 9 （15脉冲辐照）。用5脉冲辐照薄膜表面后,薄膜的消光系数会随着激光能量的增加而减小。532nm激光辐照下,ZnS薄膜经历了从轻度损伤到极度损伤的缓慢演变阶段。在5脉冲的基础上,增加激光的辐照能量会使薄膜的表面粗糙度Ra下降,最大可由1.52nm下降到0.429nm。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 李绵,徐均琪,王建,李候俊,苏俊宏

关键词: 薄膜,激光辐照,折射率,激光损伤,表面粗糙度

来源: 西安工业大学学报 2019年04期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,基础科学,信息科技

专业: 物理学,工业通用技术及设备,无线电电子学

单位: 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室

基金: 陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(16JS037),陕西省科技厅自然科学基础研究计划项目(2016JZ025)

分类号: TN24;O484.41

DOI: 10.16185/j.jxatu.edu.cn.2019.04.004

页码: 388-393

总页数: 6

文件大小: 409K

下载量: 118

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