论文摘要
采用O2等离子体对柔性氟化乙烯丙烯共聚物（FEP）进行表面处理,然后,利用射频磁控溅射法在柔性氟化乙烯丙烯共聚物（FEP）上沉积修饰一层超薄SiO2,再沉积生长ZnO:Al薄膜。主要研究探讨柔性FEP基底修饰对ZnO:Al薄膜结构、薄膜界面结合状态、薄膜形貌、电学性能、弯曲后电学性能退化、光学性能和薄膜附着力的影响机理,利用XRD、XPS、AFM、SEM、UV-Vis-NIR分光光度计、ScotchTM粘附力测试、PPMS、四探针等表征手段对薄膜结构、成分、形貌、界面及薄膜物理性能进行表征。实验表明:柔性FEP基底经修饰后生长的ZnO:Al薄膜的结晶性能得到明显的提升、薄膜内应力有效降低、SiO2与柔性基底之间产生少量的化学键合。FEP柔性基底经修饰后,ZnO∶Al薄膜的电学性能、缓减弯曲后的电学性能变化等到明显改善、薄膜附着力有明显提高。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 马德福,王刚,王慧芬,张亚非
关键词: 柔性透明导电薄膜,表面修饰,薄膜附着力,射频磁控溅射
来源: 中国陶瓷 2019年01期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 材料科学,工业通用技术及设备
单位: 上海交通大学-电子信息与电气工程学院-微纳电子学系-薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海航天技术研究院-上海卫星装备研究所
基金: 航天先进技术联合研究中心技术创新项目(USCAST2013-28)
分类号: TB383.2
DOI: 10.16521/j.cnki.issn.1001-9642.2019.01.009
页码: 44-51
总页数: 8
文件大小: 3078K
下载量: 122
相关论文文献
- [1].六方氮化硼薄膜光学透反射性质研究[J]. 哈尔滨师范大学自然科学学报 2019(06)
- [2].《薄膜光学》课程教学方法的研究[J]. 教育教学论坛 2017(10)
- [3].大口径薄膜光学探测技术空间应用进展及展望[J]. 空间电子技术 2018(01)
- [4].基于椭偏法的薄膜光学特性的测量——消光法在椭偏法中的应用[J]. 大众科技 2008(11)
- [5].真空热处理对硫化锌薄膜光学与微结构特性的影响[J]. 光学精密工程 2017(08)
- [6].薄膜光学[J]. 中国光学与应用光学文摘 2008(01)
- [7].能量过滤磁控溅射技术制备TiO_2薄膜光学性能的均一性研究[J]. 真空科学与技术学报 2017(07)
- [8].薄膜光学课程教学中存在的问题及其对策研究[J]. 中国多媒体与网络教学学报(电子版) 2017(06)
- [9].薄膜光学锥形光栅的制备与光学特性分析[J]. 应用光学 2019(02)
- [10].紫外光辐照对TiO_2薄膜光学性能的影响[J]. 应用光学 2013(01)
- [11].基片温度对氧化铋薄膜光学性质的影响[J]. 福建师范大学学报(自然科学版) 2011(02)
- [12].表面等离子共振效应中传统近似理论与薄膜光学理论[J]. 光子学报 2010(07)
- [13].精确拟合两种薄膜的光学常数及其应用[J]. 激光与红外 2019(06)
- [14].一种最小化薄膜光学参数表征偏差的椭偏测量系统误差处理技术[J]. 光学学报 2012(06)
- [15].《薄膜物理与技术》课程教学改革的研究与实践[J]. 教育教学论坛 2019(35)
- [16].沉积参数对硅碳氧薄膜光学性能的影响研究[J]. 真空与低温 2014(03)
- [17].薄膜光学参数表征误差处理技术[J]. 强激光与粒子束 2012(08)
- [18].BOPP薄膜光学性能的稳定化技术[J]. 塑料包装 2011(03)
- [19].4-硝基-4-二甲基氨基偶氮苯薄膜的制备及光学性质[J]. 真空科学与技术学报 2019(05)
- [20].薄膜光学理论与膜系设计[J]. 中国光学与应用光学文摘 2008(04)
- [21].氮δ掺杂Cu_2O薄膜的生长及物性研究[J]. 中国激光 2018(01)
- [22].真空退火和氢退火对ZnO∶B薄膜电学和光学性能的影响[J]. 人工晶体学报 2017(12)
- [23].Mg含量对MgZnO薄膜光学性质的影响[J]. 液晶与显示 2014(03)
- [24].ZnO∶Mn稀磁薄膜光学性质和铁磁行为分析[J]. 真空科学与技术学报 2008(S1)
- [25].BOPP薄膜光学性能的时效性及影响因素[J]. 塑料科技 2010(06)
- [26].光学镀膜中膜层的优化[J]. 新乡学院学报(自然科学版) 2008(02)
- [27].薄膜光学理论与膜系设计[J]. 中国光学与应用光学文摘 2008(03)
- [28].Glan-Taylor棱镜的加工与镀膜工艺研究[J]. 玻璃与搪瓷 2008(05)
- [29].射频磁控溅射沉积氧化铪薄膜纳米力学性能研究[J]. 西安工业大学学报 2017(10)
- [30].尖晶石结构LiTi_2O_4薄膜光学性质研究[J]. 红外与毫米波学报 2017(04)
标签：柔性透明导电薄膜论文; 表面修饰论文; 薄膜附着力论文; 射频磁控溅射论文;