论文摘要
三氟化氮(NF3)作为一种重要的电子气体及氟化剂,广泛应用于微电子工业中。本文阐述了目前工业生产中NF3的主要制备方法:化学氟化和电解法,化学氟化主要利用固态的氟化铝铵(NH4)3Al F6和F2为原料合成NF3,电解法生产NF3主要是电解熔融的NH4HF2。四氟化碳是工业制备三氟化氮的主要杂质,也是最难除去的杂质,提纯方法主要有精馏法,冷阱法及吸附法。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 尹强,许俊斌,周瑾艳,周阳,毛沅文,贾相锐,叶丽芳
关键词: 三氟化氮,制备方法,检测方法,气体传感器
来源: 广东化工 2019年08期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 广东省计量科学研究院
基金: 广东省省级科技计划项目,项目号:2016A040403072,广东省质量技术监督局科技计划项目,项目号:2017PZ02
分类号: TQ117
页码: 112-113
总页数: 2
文件大小: 329K
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