基于TDTR法测量单晶硅的声子平均自由程

基于TDTR法测量单晶硅的声子平均自由程

论文摘要

基于时域抽运探测热反射法(TDTR),通过改变抽运光光斑直径和调制频率的方式控制被测样品单元体,探究不同温度下被测样品单元体内能量传递的声子弹道输运现象,进而间接获得单晶硅不同温度下的声子平均自由程(MFP)信息。结果表明:室温下单晶硅声子平均自由程可达1.5μm;低温下单晶硅声子平均自由程增大,被测样品单元体传热尺寸效应增强,声子弹道输运的传热贡献增大,温度在80 K时MFP可达40μm。对于采用TDTR法表征薄膜材料及其界面热阻时,要选择尽量大的抽运光光斑直径和尽量小的抽运光调制频率,以避免传热尺寸效应,减小声子弹道输运对测试值的影响。

论文目录

  • 1 测量原理与步骤
  •   1.1 测量原理
  •   1.2 实验装置及测试步骤
  • 2 结果及其讨论
  •   2.1 室温条件下实验
  •   2.2 低温条件下实验
  • 3 结束语
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 王新伟,张中印,孙方远,熊雪,陈哲,姜玉雁,唐大伟

    关键词: 热导率,尺寸效应,弹道输运,声子平均自由程

    来源: 中国石油大学学报(自然科学版) 2019年03期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑

    专业: 化学

    单位: 中国石油大学(华东)储运与建筑工程学院,中国科学院工程热物理研究所,中国科学院大学,大连理工大学海洋能源利用与节能教育部重点实验室

    基金: 国家自然科学基金项目(51874333,51606193,51336009,51720105007),中央高校基本科研业务费专项(19CX02014A)

    分类号: O613.72;O73

    页码: 145-150

    总页数: 6

    文件大小: 362K

    下载量: 121

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