nBn型InAsSb探测器的材料及器件研究

nBn型InAsSb探测器的材料及器件研究

论文摘要

nBn型红外探测器可有效抑制产生--复合电流,进而提高探测器的工作温度。由于制备工艺可移植于III/V族成熟工艺以及存在晶格完全匹配的衬底等优势,InAsSb/AlAsSb材料是nBn型红外探测器的首选。简单介绍了InAsSb/AlAsSb nBn型红外探测器的研究现状、工作原理以及近期的研究成果。通过生长试验实现了良好的材料表面质量、晶体质量和光学性能。相关结果表明,在制备器件时,nBn结构中势垒层的掺杂浓度不应低于8×1016cm-3,否则就不利于减小nBn型器件的暗电流。

论文目录

  • 0 引言
  • 1 nBn结构介绍
  • 2 工艺过程
  • 3 实验结果
  •   3.1 材料测试
  •   3.2 I--V测试
  • 4 结束语
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 周朋,温涛,邢伟荣,刘铭

    关键词: 结构,高工作温度,暗电流

    来源: 红外 2019年11期

    年度: 2019

    分类: 信息科技

    专业: 无线电电子学

    单位: 华北光电技术研究所

    分类号: TN215

    页码: 7-12

    总页数: 6

    文件大小: 1149K

    下载量: 28

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