导读:本文包含了静电驱动微泵论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:修正偶应力理论,跳跃,吸合,尺寸效应
静电驱动微泵论文文献综述
袁艳琪,孔胜利,芦非[1]（2019）在《静电驱动微浅拱梁跳跃和吸合特性的尺寸效应研究》一文中研究指出基于修正偶应力理论研究了静电驱动微浅拱梁在考虑Casimir力时的跳跃和吸合特性。利用最小势能原理得到了微浅拱梁弯曲的控制方程和边界条件,应用广义微分求积法(GDQM)和广义积分求积法(GIQM)求解得到静电驱动微浅拱梁跳跃电压和吸合电压以及无量纲跳跃位移和吸合位移的数值解。结果表明,静电驱动微浅拱梁的跳跃特性和吸合特性具有明显的尺寸效应;基于修正偶应力理论的静电驱动微浅拱梁的跳跃和吸合电压低于经典理论值;Casimir力降低了微浅拱梁的跳跃和吸合电压以及无量纲跳跃和吸合位移;微浅拱梁初始拱高对其跳跃和吸合特性有着重要的影响。(本文来源于《机械强度》期刊2019年04期）
张林欣[2]（2019）在《静电驱动微机械陀螺仪的研究》一文中研究指出微机械陀螺仪是一种重要的惯性仪器,主要用来测量物体的旋转角速度或角加速度。它在消费电子、汽车、国防制导、航空航天等领域具有广泛应用。我国在这个领域的研究滞后于西方发达国家,特别是高性能的微机械陀螺仪核心器件的研究还处于起步阶段。本文提出一种全对称的多环振动结构静电驱动微机械陀螺仪,从理论基础、工作原理、结构设计、性能仿真、加工工艺、器件测试等几个方面进行了研究,主要包括以下内容:(1)静电驱动微机械陀螺仪的理论研究。详细分析了微机械陀螺仪理论基础科里奥利效应,建立质量弹簧阻尼模型;利用机械动力学分析器件性能并得到机械灵敏度表达式;基于微机械陀螺仪静电驱动、电容检测的原理,分析了提高微机械陀螺仪性能的方法并着重就静电调修进行分析。(2)静电驱动微机械陀螺仪的基本结构设计与仿真。通过比较选型,确立多环结构为本陀螺仪的基本设计类型;利用计算机软件对器件进行模态分析,得到驱动模态的谐振频率为21052 Hz,敏感模态的谐振频率为21545 Hz;分析了阻尼对器件性能的影响,利用谐响应分析计算了不同固定阻尼比与器件振幅的关系;分析了外界冲击对器件性能的影响,利用瞬态动力学分析得到器件X轴可以承受最大加速度为8.842×105 g,Z轴可以承受最大加速度为1.9×106 g。(3)静电驱动微机械陀螺仪的MEMS工艺设计与流片实验。设计了基于SOI硅片的工艺并进行流片;优化了湿法刻蚀释放结构的工艺;分析了器件衬底漏电的机理,并利用计算机软件进行仿真计算;设计了基于硅玻璃键合的工艺并进行流片;优化了玻璃凹槽湿法刻蚀工艺设计与圆片键合工艺。(4)静电驱动微机械谐振器件的测试。分析了主要的几种MEMS谐振器件的测试方法;基于矢量网络分析仪、真空腔、跨阻放大器等设备,对器件进行扫频测试,得到驱动轴的谐振频率为23686.25 Hz,敏感轴的谐振频率为23980 Hz;基于静电调修原理,对器件施加2.5 V静电调修电压,两个模态的频率裂解从293.75 Hz下降到6.25 Hz,提高了器件的性能。(本文来源于《中国科学技术大学》期刊2019-05-20）
刘成[3]（2019）在《厚度形态误差下静电驱动微梁谐振器的力学性能研究和优化设计》一文中研究指出随着社会的飞速发展以及生活水平的不断提高,人们对微机电系统(MEMS)器件的需求越来越大。相比于传统机电系统,MEMS器件具有体积小、重量轻、功耗低、响应快、智能化等一系列优点。然而,MEMS器件也有它自身不可避免的问题。尺寸的减小,使得MEMS器件在加工制作方面产生了非常大的难度。在加工过程中,常常会由于过度蚀刻或蚀刻不足导致MEMS器件的形状发生变化,引起器件的力学性能改变。此外,随着MEMS器件的迅速发展,也会出现许多需要解决动力学问题。因此,全面考虑真实情况对MEMS器件数学模型的影响和深入研究其非线性动力学行为将有助于该器件的优化设计和应用拓展。静电驱动微梁谐振器是MEMS器件中一种典型的动态结构传感器,主要利用谐振器内部机械谐振特性而工作。然而此类结构存在明显的刚度非线性和静电力非线性,同时加工误差导致的形状变化也会对系统的非线性造成重要的影响。考虑误差以及非线性条件下微谐振器的力学特性,对于MEMS器件的设计与优化具有指导意义。本文以两端固支静电驱动微梁谐振器为研究对象,分别利用理论、数值和有限元方法研究单极板驱动和双极板驱动下厚度形态误差对静态吸合、非线性振动以及优化设计等方面的影响。具体研究内容和研究成果如下:(一)建立了考虑中性面拉伸和误差影响的单极板静电驱动微谐振器的连续体模型,利用伽辽金法和Newton-Cotes法将系统化简为单自由度模型,通过静态方程求出截面参数和极板间距对吸合效应的影响。求出了不同截面参数和极板间距下微谐振器的小幅振动情况。并初次探讨截面参数对大幅值振动的影响。(二)研究了双极板驱动下微谐振器的静动态特性。首先理论推导了无形态误差下的微梁系统的分岔情况,通过对比静态平衡点、等效固有频率和相空间流形随激励参数的变化来讨论厚度形态误差对分岔情况的影响。利用多尺度法求出厚度形态误差对系统小幅振动时软硬特性的影响,并以线性振动为优化条件对截面参数、直流电压和极板间距的关系进行了优化。(叁)研究了双参数方程控制下考虑厚度形态误差的微谐振器。此时微梁会出现关于中性面不对称的情况。考虑中性面拉伸,中性面弯曲和厚度形态误差建立了双极板静电驱动微梁谐振器的连续体模型。对静电力进行有限元分析,验证了理论结果的正确性。两方程参数改变对微谐振器静电力、吸合电压、吸合位置以及安全区域的影响被讨论。通过动态分析求出了两个方程参数满足系统为线性振动时的关系。并研究了在满足线性振动条件时微谐振器振动幅值和共振频率的变化。利用Simulink动力学仿真求出了系统的大幅值振动情况,发现当振幅增大到一定值后频响曲线会出现软硬过度行为,研究了截面参数变化对过渡点的影响,并给出直流电压、方程参数和软硬过渡点的关系方程式。(本文来源于《天津理工大学》期刊2019-01-01）
芦非,孔胜利,袁艳琪[4]（2018）在《静电驱动微悬臂梁静态吸合特性的尺寸效应研究》一文中研究指出基于修正偶应力理论研究了静电驱动微悬臂梁在考虑Casimir力时的静态吸合特性。利用最小势能原理得到了微悬臂梁弯曲的控制方程和边界条件,应用广义微分求积法(GDQM)求解后得到静电驱动微悬臂梁吸合电压与无量纲吸合位移的数值解。结果表明,基于修正偶应力理论的静电驱动微悬臂梁的吸合电压明显高于经典理论值,表现出明显的尺寸效应;同时Casimir力降低了微悬臂梁的吸合电压与无量纲吸合位移。当微悬臂梁的初始间隙g远远大于其厚度h时,Casimir力的影响可以忽略不计。(本文来源于《机械强度》期刊2018年06期）
胡立力[5]（2017）在《时滞位置反馈对一类静电驱动微加速度计的振动控制分析》一文中研究指出本文以一类静电驱动双侧平行板电容型微加速度计的动力学模型为研究对象,该器件由直流偏置电压和交流电压共同驱动。基于局部分岔理论分析系统的振幅变化和多解现象机制。基于全局分岔理论研究微结构由加载的直流偏置电压和交流激励电压引起的振动跳跃和吸合不稳定现象。进而提出通过时滞位移反馈来实现抑制由驱动电压引起系统的混沌运动、跳跃现象和吸合不稳定现象。首先考虑动力学系统方程,利用集总参数法建模,为方便研究,对系统参数进行无量纲化。进而分析发生静态吸合情况下系统结构参数的临界值;利用多尺度法推导出系统的幅频响应分岔方程;运用奇异性理论验证研究系统解的稳定性;进一步获得动力系统的Hopf分岔的必要条件;利用四阶Rung-Kutta法数值模拟系统在不同系统参数条件下的复杂动力学行为,从而验证解析结果的有效性;最后数值模拟在正的增益参数下和微小时滞量对系统的吸合不稳定的控制变化情况。研究发现,随着驱动电压增大,引起系统的跳跃现象、混沌和吸合不稳定现象。通过在正的反馈增益系数和较小的时滞量下,时滞位移反馈加载在驱动交流电压上,能够起到抑制系统的混沌运动和安全盆侵蚀现象的发生,即时滞位移反馈对于原系统的复杂动力学状态具有控制作用。本文的研究结果在微加速度计的设计和控制器的研发上有潜在的应用价值。(本文来源于《上海应用技术大学》期刊2017-05-25）
芦非[6]（2017）在《静电驱动微梁Pull-in特性尺寸效应研究》一文中研究指出静电驱动微机电系统(Micro-Electro-Mechanical-Systems,简写为MEMS)器件具有重量轻、体积小、响应快、耗能低等优点,在太空探索、智能控制、生物医学等领域得到广泛的应用。由于静电驱动器件几何尺寸的微小化,其力学性能与宏观状态下的器件相比存在着较大的差异。目前微尺度实验已经验证了特征尺寸大小小于微米量级时微器件的力学特性含有明显的尺寸效应现象。但是,由于经典的连续介质力学理论中不含有与尺寸效应现象相关的材料本征尺寸参数,因而不能解释上述微构件所表现出来的尺寸效应现象,而高阶应变梯度理论,例如偶应力理论、修正偶应力理论、应变梯度弹性理论等理论,通过在其本构方程中引入一个或多个材料本征尺寸参数,可以用以解释和说明静电驱动微构件力学性能的尺寸效应现象。由于修正偶应力理论中除了两个经典的尺寸参数外,只含有一个另外的材料内禀特征尺寸参数,这对于建立微构件理论模型以及分析其力学性能的变化规律有着极大的优势。本文以静电驱动微梁为研究对象,考虑Casimir力对静电驱动微梁的影响,基于修正偶应力理论建立微梁Pull-in特性尺寸效应力学模型,并应用广义微分求积法对高阶非线性控制方程进行求解,分析不同几何尺寸参数的典型特征对微梁Pull-in电压和无量纲Pull-in位移的影响。具体的研究结果如下:当微梁厚度与材料本征尺寸参数相同时,静电驱动微梁的Pull-in电压大于经典理论下的Pull-in电压,表现出强烈的尺寸效应。然而,当微梁厚度远远大于材料本征尺寸参数时,其Pull-in电压与经典理论下的Pull-in电压基本相同,微梁Pull-in特性的尺寸效应现象消失。另外,随着微梁初始间隙与其厚度的比值的不断增大,其Pull-in电压和无量纲Pull-in位移也不断增大。当可变形极板与固定极板之间的初始间隙远大于微梁厚度时,Casimir力的影响可以忽略不计。同时,Casimir力可以降低静电驱动微梁的Pull-in电压和无量纲Pull-in位移。最后,基于MATLAB软件开发了用于求解静电驱动微梁Pull-in特性的非线性控制方程的可视化应用平台,实现了静电驱动微梁Pull-in特性尺寸效应现象的可视化。(本文来源于《齐鲁工业大学》期刊2017-05-16）
胡院林,梁鑫,王文,张彧[7]（2016）在《能量平衡法静电驱动柔性振膜微泵特性分析》一文中研究指出从能量平衡的角度建立了静电驱动柔性振膜微泵的平衡方程,基于对压缩过程中振膜动能的考虑,改进了最小能量法压缩模型,结合均匀压力载荷下圆薄膜大挠度形变理论对静电驱动柔性振膜微泵进行理论分析。对振膜与腔体壁面贴合的压缩过程中各能量相互转化的关系进行分析,并与最小能量法模型进行了对比。结果表明,能量平衡法考虑了薄膜振动过程中的动能,故薄膜与腔体具有更大的贴合面积,且以薄膜与腔体完全贴合时作为零应力参考状态降低压缩过程中的薄膜形变势能,计算得到的静电微泵的压缩效率更高,在驱动电压为300 V时,改进的双腔模型中振膜贴合半径为4.06 mm,所得最大压升为87.08 k Pa。基于改进的模型,对双腔微泵压升的影响因素进行讨论,发现降低柔性薄膜厚度会使输出压力有所上升,并且减小腔体表面介电层厚度、减小腔体深度与半径可以有助于提高微泵的压升。(本文来源于《传感技术学报》期刊2016年01期）
韩建鑫[8]（2015）在《一类双极板静电驱动微梁谐振器的非线性振动及其控制研究》一文中研究指出微机电系统(MEMS)技术是21世纪最具革命性的高新技术,广泛应用于航空航天、精密仪器、生物技术、国防军事、通讯等诸多领域。MEMS技术在迅速发展的同时,也面临着多学科交叉问题,其中动力学问题尤为突出。对于微谐振器、陀螺仪、微马达等动态MEMS器件来讲,运动结构的动态特性将直接影响系统的工作性能。深入研究并掌握该类结构的动力学行为将有助于MEMS器件的优化设计及应用扩宽。两端固支微梁式谐振器是一种高精度的动态传感器,其主要是利用谐振器内部振子的机械谐振特性来工作的。然而,此类结构的几何非线性度较高,在非线性静电激励作用下,系统呈现出典型的非线性动态特性。开展谐振器的非线性动力学研究对于掌握谐振器的复杂振动机理、指导谐振器的动态优化设计以及实现谐振器的优化控制均具有显着的理论与工程意义。本文以一类典型的双极板静电驱动两端固支微梁谐振器作为研究对象,分别从静态分岔、非线性振动、动态设计以及振动控制等方面对其进行了深入的研究与探讨,具体研究内容与研究成果体现在以下五个方面:(1)详细推导了微谐振器的静态分岔特性。以谐振器的未扰动Hamilton系统作为研究对象,推导了其静态平衡点随参数的变化情况,获得了系统的静态分岔集及对应相空间的流形分布;定义了系统的动态吸合条件并进行了验证;结合势阱/势垒能量关系成功地解释了在平衡点个数相同的情况下,相空间流形截然不同的原因。(2)深入分析了微谐振器在主共振工况下的幅频响应特性。结合静态分岔分析结果及小幅振动假设,研究了谐振器在零/非零平衡点附近的动态特性及等效固有频率随参数的变化情况,成功地解释了二次吸合现象产生的原因;定义了系统软硬特性过渡现象存在的判定条件,并总结归纳了各平衡点附近的幅频响应特性;推导了线性振动情况下系统的最优直流电压与等效固有频率的参数表达式并讨论了物理参数对于该行为的影响。(3)系统讨论了时滞速度反馈控制对于微谐振器动态特性的调节作用。应用Hopf分岔理论讨论了整个时滞参数空间内反馈控制对于微谐振器稳定域的影响,证实了系统中存在稳定性切换行为;比较了时滞稳定域与多尺度法所得稳定域的不同;定义了有效固有角频率及有效阻尼系数并讨论了时滞反馈的调频调阻作用;针对谐振器调频调阻的解耦问题进行了有益的探讨。(4)结合物理参数详细探讨了微谐振器的大幅振动设计问题。定义了未扰动Hamilton系统的大幅振动设计条件;讨论了微梁的固有频率、初始间距、厚度以及直流电压等因素对于实际系统大幅振动的影响;结合数值Melnikov方法及局部最大值法研究了扰动参数对于系统混沌运动的影响,为系统大幅振动的动态设计提供了一定的理论参考。(5)理论设计了两类分数阶滑模控制器并成功应用于微谐振器的混沌控制。结合分数阶微积分理论与滑模控制理论,设计了两类分数阶滑模控制器:模糊分数阶快速终端滑模控制器以及分数阶非奇异快速终端滑模控制器,并应用分数阶Lyapunov稳定性理论进行了稳定性证明;应用Matlab/Simulink程序验证了两种控制器在微谐振器混沌控制中的有效性,为分数阶控制器在动态MEMS中的应用提供了有益的理论参考。(本文来源于《天津大学》期刊2015-12-01）
陈涛[9]（2015）在《静电驱动微桥非线性动力学特性研究》一文中研究指出随着科学技术日新月异的发展和人们生活需求的不断提高,微机电系统凭借自身微、精、准的优势,逐步替代宏观系统更好地实现相应的功能,在愈来愈多的领域得到广泛重用。为了微机电系统能够又快又稳的发展,必须要有扎实科学的理论知识储备。当前阶段,针对应用最广泛的静电驱动微机电系统的研究,主要集中在理想设计结构的静态特性分析和动力学特性分析上,忽略了“牺牲层腐蚀”工艺的固有缺陷。然而,为了确保微系统的工作性能,工艺缺陷对微结构的静态特性、动力学特性及非线性行为的影响不容忽略。本文针对静电致动微桥系统的工艺缺陷问题,以真空封装的理想微桥、微拱和微缓冲结构为研究对象,对它们的静态吸合、动力学及其非线性行为进行理论分析,验证本文提出的“两侧加压双侧翘曲”结构改善含工艺缺陷微桥工作性能的可行性。在两端固支微梁横向自由振动方程的基础上,考虑惯性项、阻尼项、偏置电压提供的静电力激励项以及几何变形引起的非线性项,建立两侧加压静电致动微桥耦合系统的横向振动微分方程。工艺缺陷导致的几何变形以及为了改善微桥工作性能所设计的缓冲结构,在数学模型中均表现为微桥的初始形函数发生改变。应用伽辽金法将离散微桥的连续体模型,得到可行的单自由度模型,对其进行多尺度摄动分析得到微桥系统的振动响应方程。然后,分析不同初始形态微桥固有频率与直流偏置电压的关系、微桥的共振频率与初始形态控制参数的关系、微桥的幅频响应与初始形态控制参数的关系。精简出四种有代表性的微桥结构,分析其幅频响应关系,得到结论:微桥结构表现“软非线性”,共振频率漂移至相对更小的数值范围;双边褶皱结构削弱“软非线性”的功能性强于单边褶皱结构。而后,以理想微桥、微拱、双边褶皱缓冲结构为研究对象,分析拱高和板间隙、几何尺寸、直流偏置电压和交流激励电压幅值等主要控制参数对微梁动力学特性的影响,得到结论:对于微拱结构,拱高增大或板间隙减小,其共振频率减小,共振幅值增大,“软化”效应增强;对于几何尺寸不同的微梁,长梁的共振频率较小,共振幅值和非线性行为变化不明显,宽梁的共振幅值较大,共振频率和非线性行为变化不明显,薄梁的共振频率减小,共振幅值增大,“软化”非线性行为增强;直流电压增大,微梁的共振频率减小,共振幅值增大,“软化”非线性行为增强,交流电压幅值增大,微梁的共振幅值增大,共振频率和非线性行为变化不明显;双边褶皱结构的鲁棒性远强于微拱,接近理想微桥。(本文来源于《天津大学》期刊2015-12-01）
张琪昌,陈涛,王炜[10]（2016）在《缓冲结构对静电驱动微桥动力学特性的影响》一文中研究指出可动部件是微机电系统(MEMS)工作的关键,微桥作为主要的可动部件,其动力学特性引起了研究人员的广泛关注.即使是设计精准的微桥结构,也会因为残余应力而不可避免地改变初始形态,设计缓冲结构是减少残余应力影响的重要方法.基于欧拉-伯努利梁理论建立的微桥动力学模型,采用多尺度方法进行摄动分析,探讨初始形态、基板与极板间隙、直流偏置电压和交流激励电压幅值对系统共振频率和幅频响应的影响规律.结果表明:初始挠形、直流偏置电压和交流激励电压都具有软化效应,使共振频率漂移到较小的数值范围,且随着拱高增加或基板与极板间隙减小,软化效应增强,随着微拱曲率增大,软化效应减弱;缓冲结构可以削弱软化效应,缓冲结构的褶皱数量在2个以上时削弱效果变化不大,双侧翘曲缓冲结构削弱软化效应的能力强于单侧翘曲缓冲结构.(本文来源于《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》期刊2016年07期）
静电驱动微泵论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
微机械陀螺仪是一种重要的惯性仪器,主要用来测量物体的旋转角速度或角加速度。它在消费电子、汽车、国防制导、航空航天等领域具有广泛应用。我国在这个领域的研究滞后于西方发达国家,特别是高性能的微机械陀螺仪核心器件的研究还处于起步阶段。本文提出一种全对称的多环振动结构静电驱动微机械陀螺仪,从理论基础、工作原理、结构设计、性能仿真、加工工艺、器件测试等几个方面进行了研究,主要包括以下内容:(1)静电驱动微机械陀螺仪的理论研究。详细分析了微机械陀螺仪理论基础科里奥利效应,建立质量弹簧阻尼模型;利用机械动力学分析器件性能并得到机械灵敏度表达式;基于微机械陀螺仪静电驱动、电容检测的原理,分析了提高微机械陀螺仪性能的方法并着重就静电调修进行分析。(2)静电驱动微机械陀螺仪的基本结构设计与仿真。通过比较选型,确立多环结构为本陀螺仪的基本设计类型;利用计算机软件对器件进行模态分析,得到驱动模态的谐振频率为21052 Hz,敏感模态的谐振频率为21545 Hz;分析了阻尼对器件性能的影响,利用谐响应分析计算了不同固定阻尼比与器件振幅的关系;分析了外界冲击对器件性能的影响,利用瞬态动力学分析得到器件X轴可以承受最大加速度为8.842×105 g,Z轴可以承受最大加速度为1.9×106 g。(3)静电驱动微机械陀螺仪的MEMS工艺设计与流片实验。设计了基于SOI硅片的工艺并进行流片;优化了湿法刻蚀释放结构的工艺;分析了器件衬底漏电的机理,并利用计算机软件进行仿真计算;设计了基于硅玻璃键合的工艺并进行流片;优化了玻璃凹槽湿法刻蚀工艺设计与圆片键合工艺。(4)静电驱动微机械谐振器件的测试。分析了主要的几种MEMS谐振器件的测试方法;基于矢量网络分析仪、真空腔、跨阻放大器等设备,对器件进行扫频测试,得到驱动轴的谐振频率为23686.25 Hz,敏感轴的谐振频率为23980 Hz;基于静电调修原理,对器件施加2.5 V静电调修电压,两个模态的频率裂解从293.75 Hz下降到6.25 Hz,提高了器件的性能。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
静电驱动微泵论文参考文献
[1].袁艳琪,孔胜利,芦非.静电驱动微浅拱梁跳跃和吸合特性的尺寸效应研究[J].机械强度.2019
[2].张林欣.静电驱动微机械陀螺仪的研究[D].中国科学技术大学.2019
[3].刘成.厚度形态误差下静电驱动微梁谐振器的力学性能研究和优化设计[D].天津理工大学.2019
[4].芦非,孔胜利,袁艳琪.静电驱动微悬臂梁静态吸合特性的尺寸效应研究[J].机械强度.2018
[5].胡立力.时滞位置反馈对一类静电驱动微加速度计的振动控制分析[D].上海应用技术大学.2017
[6].芦非.静电驱动微梁Pull-in特性尺寸效应研究[D].齐鲁工业大学.2017
[7].胡院林,梁鑫,王文,张彧.能量平衡法静电驱动柔性振膜微泵特性分析[J].传感技术学报.2016
[8].韩建鑫.一类双极板静电驱动微梁谐振器的非线性振动及其控制研究[D].天津大学.2015
[9].陈涛.静电驱动微桥非线性动力学特性研究[D].天津大学.2015
[10].张琪昌,陈涛,王炜.缓冲结构对静电驱动微桥动力学特性的影响[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版).2016