溅射功率对玉米蛋白膜基底上制备氧化锌(ZnO)薄膜性质的影响

溅射功率对玉米蛋白膜基底上制备氧化锌(ZnO)薄膜性质的影响

论文摘要

室温下采用射频磁控溅射方法在蛋白质基底上沉积了氧化锌(ZnO)薄膜,研究了溅射功率对ZnO薄膜表面形貌和光学性能的影响.X射线衍射测试结果表明,所制备的薄膜均为纤锌矿结构,其取向以(0002)面择优生长为主.薄膜的结晶度和表面形貌与溅射功率密切相关,同时,溅射功率对薄膜的微观结构和光学性能有很大的影响.光学吸收测试结果表明,在玉米蛋白基底上制备的ZnO薄膜在380 nm处具有陡峭的吸收边,在不同溅射功率条件下制备的薄膜禁带宽度均在3.26 eV附近.此外,本文还研究了蛋白质基底上制备ZnO薄膜的光致发光谱.

论文目录

  • 0 引言
  • 1 实验
  • 2 结果与讨论
  •   2.1 XRD分析
  •   2.2 SEM分析
  •   2.3 PL分析
  •   2.4 光学特性分析
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 雷蕾,王超,杨帆

    关键词: 氧化锌薄膜,玉米蛋白膜,磁控溅射

    来源: 吉林建筑大学学报 2019年01期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

    专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备

    单位: 吉林建筑大学电气与计算机学院

    基金: 吉林省科技厅项目(20170101111JC),吉林省教育厅项目(JJKH20180590KJ)

    分类号: TQ132.41;TB383.2

    页码: 77-81

    总页数: 5

    文件大小: 2107K

    下载量: 54

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