论文摘要
准分子激光线形光束在多晶硅薄膜的工业生产中有重要应用。基于自行研制的激光退火设备输出的线形XeCl准分子激光对等离子体增强化学气相沉积制备的大尺寸非晶硅薄膜进行退火处理。研究了线形光束的能量密度、辐照数量对薄膜晶化程度的影响,讨论了制备的大尺寸多晶硅薄膜的晶化体积分数及均匀性。实验结果表明,薄膜晶化的阈值为194 mJ·cm-2;薄膜的晶化体积分数随能量密度先线性增大,再缓慢减小,线性增长因子约为0.3,当能量密度为432 mJ·cm-2时,晶化程度最优;当辐照数量超过20次时,薄膜的晶化体积分数维持稳定;当光斑搭接率为93.7%时,制备的大尺寸多晶硅薄膜右侧区域的晶化体积分数为92.26%,相对标准差为1.56%,略好于左侧区域。该工作为线形光束晶化非晶硅薄膜的研究及准分子激光线形光束退火设备的国产化及提供了参考。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 尹广玥,游利兵,陈星,邵景珍,陈亮,王庆胜,方晓东
关键词: 薄膜,多晶硅,准分子激光退火,能量密度,搭接率,线形光束
来源: 量子电子学报 2019年02期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备
单位: 中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室,中国科学技术大学
基金: 安徽省国际合作项目,1403062009~~
分类号: TQ127.2;TB383.2
页码: 219-225
总页数: 7
文件大小: 730K
下载量: 64
相关论文文献
- [1].低成本原位晶化型催化裂化催化剂的制备及性能研究[J]. 炼油技术与工程 2019(12)
- [2].金属诱导晶化基础与应用研究进展[J]. 金属学报 2020(01)
- [3].铝诱导晶化法制备多晶硅薄膜[J]. 现代显示 2008(Z1)
- [4].铝层厚度对铝诱导氢化非晶硅晶化的影响[J]. 当代化工研究 2020(06)
- [5].前进中的青岛海晶化工[J]. 走向世界 2016(02)
- [6].海晶化工全线停产搬迁提速[J]. 江苏氯碱 2013(06)
- [7].原位晶化材料的发展现状及应用前景[J]. 化学与黏合 2013(01)
- [8].基于能量守恒原理的块体非晶合金热加工条件下晶化机制的研究[J]. 热加工工艺 2012(20)
- [9].用镍硅氧化物源横向诱导晶化的多晶硅薄膜[J]. 物理学报 2010(04)
- [10].电场辅助铝诱导晶化非晶硅薄膜[J]. 人工晶体学报 2010(04)
- [11].自缓释镍源的横向诱导晶化多晶硅薄膜晶体管[J]. 半导体学报 2008(10)
- [12].氢等离子体辅助固相晶化多晶硅薄膜的初步研究[J]. 功能材料 2014(19)
- [13].晶化釜机械密封失效原因分析及改进方法[J]. 石油和化工设备 2012(01)
- [14].场致铝诱导低温快速晶化非晶硅薄膜[J]. 建材世界 2010(02)
- [15].非晶合金晶化曲线的研究[J]. 稀有金属材料与工程 2009(03)
- [16].溶液法铝诱导晶化制备多晶硅薄膜[J]. 物理学报 2009(09)
- [17].激光晶化能量对多晶硅薄膜晶体管特性影响的研究[J]. 电子技术与软件工程 2016(13)
- [18].晶化分数对钛基非晶复合材料热塑性成形能力的影响[J]. 精密成形工程 2020(06)
- [19].原位晶化催化剂制备技术的进展和应用[J]. 甘肃科技纵横 2014(04)
- [20].等离子体增强化学气相沉积法制备氢化硅膜的自晶化倾向性[J]. 硅酸盐学报 2014(10)
- [21].高岭土原位晶化合成Y型分子筛的研究进展[J]. 精细石油化工 2009(01)
- [22].在不同时间下退火对非晶硅薄膜晶化的影响[J]. 材料导报 2008(S3)
- [23].激光波长对非晶硅薄膜晶化效果的影响[J]. 光电子.激光 2013(10)
- [24].细晶化技术在钢铁领域中的应用与发展[J]. 鞍钢技术 2008(02)
- [25].溶液法铝诱导晶化多晶硅薄膜[J]. 物理化学学报 2008(09)
- [26].海晶变奏[J]. 商周刊 2014(01)
- [27].非晶硅薄膜制备及其晶化特性研究[J]. 人工晶体学报 2008(05)
- [28].金属诱导横向晶化非晶硅薄膜技术及新发展[J]. 微纳电子技术 2013(09)
- [29].多晶硅薄膜的铝诱导晶化法制备及其晶粒的择优取向特性[J]. 功能材料 2012(02)
- [30].铝诱导晶化制备多晶硅薄膜研究进展[J]. 材料导报 2012(21)