论文摘要
本文基于单晶圆擦洗的原理,分析了单晶圆擦洗常见的两种方案的缺点,提出了适合单晶圆擦洗的优化方案。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 王文丽,黄鑫亮,夏楠君,祝福生,赵宝君,王勇威
关键词: 单晶圆,擦洗,优化
来源: 清洗世界 2019年06期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺
单位: 中国电子科技集团公司第四十五研究所
分类号: TG580.692
页码: 13-14
总页数: 2
文件大小: 1315K
下载量: 65
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