单晶圆擦洗技术及优化方案的研究

单晶圆擦洗技术及优化方案的研究

论文摘要

本文基于单晶圆擦洗的原理,分析了单晶圆擦洗常见的两种方案的缺点,提出了适合单晶圆擦洗的优化方案。

论文目录

  • 0 引言
  • 1 单晶圆擦洗技术原理
  • 2 单晶圆擦洗传统方案分析
  •   2.1 方案一:单工位滚动擦洗
  •   2.2 方案二:单工位悬臂式直线擦洗
  • 3 单晶圆擦洗优化方案 (图3)
  • 4 结语
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 王文丽,黄鑫亮,夏楠君,祝福生,赵宝君,王勇威

    关键词: 单晶圆,擦洗,优化

    来源: 清洗世界 2019年06期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑

    专业: 金属学及金属工艺

    单位: 中国电子科技集团公司第四十五研究所

    分类号: TG580.692

    页码: 13-14

    总页数: 2

    文件大小: 1315K

    下载量: 65

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