导读:本文包含了气敏传感器论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:传感器,氧化物,普鲁士,半导体,气体,金属,电桥。
气敏传感器论文文献综述
钟义林,唐巍飚,李学辉,陈希尧,丁臻敏[1]（2019）在《家用便携式半导体气敏传感器法甲醛检测仪性能研究》一文中研究指出对16批次家用便携式半导体气敏传感器法甲醛检测仪的示值误差进行研究。用30m~3环境舱静态模拟6种不同温度、甲醛浓度的室内环境。结果表明,在设定的环境中,本次采购的家用便携式半导体气敏传感器法甲醛检测仪与酚试剂分光光度法检测结果的示值误差大于15%,不适用于室内环境甲醛浓度精准检测。(本文来源于《中国建材科技》期刊2019年05期）
周仕强,卢清杰,陈明鹏,张瑾,柳清菊[2]（2019）在《微纳米结构In_2O_3气敏传感器研究进展》一文中研究指出近年来,随着生活水平提高,健康生活和安全保护备受社会关注,对有毒易燃易爆气体的检测愈来愈重视,尤其表现在排放检测、消防安全、石油化工和航天航空方面等。金属氧化物半导体气敏传感器由于具有高灵敏度、低成本、稳定性好等优点而被广泛应用于气敏传感领域。叁氧化二铟(In_2O_3)作为一种典型n型宽禁带半导体,因具有透明导电、电阻率低、气敏性能较好等特点成为一种良好的气敏材料。本文综述了近几年来微纳结构In_2O_3气敏传感器的研究进展,分别对In_2O_3气敏材料的结构、气敏机理、不同形貌、金属和金属氧化物改性以及碳材料复合等方面进行介绍,分析了In_2O_3气敏传感器存在问题,并进一步指出In_2O_3气敏传感器在未来的研究方向。(本文来源于《功能材料与器件学报》期刊2019年02期）
徐志武[3]（2019）在《金属离子掺杂及金属氧化物复合纳米TiO_2的气敏传感器研究》一文中研究指出制浆造纸工业是重污染型工业,长期向环境中排放出大量的废气。本文主要是针对制浆造纸工业环境中产生的NH_3和H_2S为目标气体,以低温液相法合成的锐钛矿纳米TiO_2胶体为基础,为了解决纯的纳米TiO_2气敏传感器工作温度较高、灵敏度较低等缺点,分别通过金属离子掺杂及金属氧化物复合的方式对其进行改性,并研究相关的气敏机理。主要研究内容及结果如下:(1)通过超声掺杂的方式,向纳米TiO_2胶体中掺杂不同浓度的金属离子Fe~(3+)、Cu~(2+)、Ni~(2+)、Co~(2+)来改善纳米TiO_2对NH_3的气敏性。研究结果表明,掺杂摩尔比浓度为20%的Co~(2+)的TiO_2气敏传感器对NH_3的灵敏度最高达到12.171,实现了室温下对NH_3的检测,其对1-50 ppm NH_3的灵敏度达到了3.259-12.171,同时气敏传感器的响应/恢复时间分别不超过19 s和38 s,能够实现室温下对NH_3的快速检测。此外,气敏传感器对NH_3具有优异的选择性、重复性和稳定性。(2)基于α-Fe_2O_3/TiO_2纳米复合材料,采用液相反应工艺制备出了高性能的H_2S气敏传感器。研究结果表明,在工作温度120℃,α-Fe_2O_3的最佳掺杂量50 mol%时,制备的α-Fe_2O_3/TiO_2纳米复合气敏传感器对50 ppm H_2S的灵敏度是纯纳米TiO_2的7倍,对1-50 ppm H_2S的灵敏度达到了3.4-15.6。气敏传感器对50 ppm H_2S的响应/恢复时间分别低至25 s和48 s,同时还具有优异的选择性、重复性和稳定性。相比于大多数文献报道的H_2S气敏传感器的工作温度300℃,其工作温度下降了60%,仅为120℃,延长了气敏传感器的使用寿命,减少了能耗。(3)基于前面金属氧化物复合能提高纳米TiO_2气敏传感器的气敏性能,制备出了金属氧化物复合纳米TiO_2的NH_3传感器。首先通过水热合成纳米CuO、纳米NiO、纳米Co_3O_4,然后和纳米TiO_2分别进行复合。研究结果表明,复合摩尔比浓度为50%的纳米NiO/TiO_2气敏传感器气敏性能最好,实现了室温下对NH_3的检测,对1-50 ppm NH_3的灵敏度达到了1.438-10.168。气敏传感器的响应/恢复时间均不超过60 s,能够实现室温下对NH_3的快速检测,同时对NH_3具有良好的选择性、重复性和稳定性。(4)最后研究了金属离子掺杂以及金属氧化物复合对传感器气敏性能影响的机理。金属离子掺杂对传感器气敏性能影响的机理主要通过金属离子的晶格替换改变TiO_2的禁带宽度。而金属氧化物复合对传感器气敏性能影响的机理主要归因于两种金属氧化物异质结的影响,包括势垒调节和费米能级介导的电荷转移效应,电子的传导通道宽度的变化以及协同效应等。(本文来源于《华南理工大学》期刊2019-06-05）
高汉斌[4]（2019）在《一种4H-SiC基MIS SBD高温气敏传感器的研究》一文中研究指出随着科学技术的迅猛发展,国防军事、汽车电子、航空航天、工业电气自动化、燃料电池等领域越来越需要高温气敏传感器的发展来推进技术的革新,然而以硅为主体的器件多用于低温低频条件下,无法适用于高温条件下,因此,以碳化硅为基底的高温气敏传感器的研究成为人们关注的热点,特别是金属-绝缘层-半导体肖特基二极管(MIS SBD)结构的气敏传感器,其结构简单、易于制作、易于集成、外围电路简单等更是成为研究的重点。但是在过去的研究中,研究者多以氧化物作为SiC基高温气敏传感器的绝缘层,这样的绝缘层热导率低、与衬底的晶格失配较为严重、不能承受更高的温度环境,造成传感器可靠性低、应用范围有限。本文设计了以氮化铝作为传感器绝缘层、以4H-SiC为基底的金属-绝缘层-SiC肖特基(MISiC SBD)高温氢敏传感器,改善了绝缘层与半导体晶格失配严重的问题,提高了高温条件下传感器的灵敏度和可靠性。本文主要研究了传感器敏感机理,仿真和分析了传感器敏感特性和高温特性,优化了传感器结构,设计了传感器工艺过程并开展了部分实验研究,具体研究内容如下:(1)讨论传感器的工作原理,探究传感器各层材料的作用,确定各层材料的选择,建立传感器结构,主要包括4H-SiC衬底、4H-SiC外延层、氮化铝绝缘层、正面和背面缓冲层、正面和背面电极。(2)建立传感器理论模型和仿真模型。首先,分析传感器的氢敏物理模型,包括:氢气解析吸附模型、电流传输模型、势垒高度模型等。其次简化仿真模型结构,省略起粘附作用的缓冲层,正面电极简化为肖特基接触,背面电极简化为欧姆接触。最后,使用相应仿真模型,包括:半导体基本方程组、迁移率模型、禁带宽度变窄模型、俄歇复合和直接复合模型、隧穿模型等,对传感器进行仿真研究。(3)研究和分析温度、氢气浓度和绝缘层厚度对传感器I-V输出特性的影响,确定传感器最优绝缘层厚度。结果表明,当温度小于573K时,温度升高,由于催化金属的作用,生成极化层的氢原子增多,势垒高度变小,传感器电流变大,当温度位于573K和773K之间时,温度升高,一部分氢原子与氧原子结合生成水,势垒高度变大,传感器电流变小;氢气浓度上升,势垒高度变小,传感器的电流随之增大;绝缘层厚度增大,减少了通过绝缘层的电子数目,引起传感器输出电流的减小。提取仿真数据,得到传感器电流分辨率和灵敏度与绝缘层厚度的关系。结果显示,增大绝缘层厚度,电流分辨率减小,灵敏度增大。根据传感器在高温应用下,电流分辨率应大于1mA,电流灵敏度大于40%的条件,确定了传感器的最优绝缘层厚度区间为1.45-2.32nm。最终选定绝缘层厚度为2nm,仿真分析了传感器在温度为573K条件下氢气浓度对传感器电流的影响,证明了传感器在氢气浓度小于200ppm时具有良好的电流分辨率,在氢气浓度大于200ppm时,传感器的线性度良好。(4)设计工艺过程,研究关键工艺方法。传感器的整个制备过程包括:绝缘层沉积,正面缓冲层制备、正面电极制备、背面缓冲层制备,背面电极制备等,重点研究了脉冲激光沉积(PLD)制备氮化铝绝缘层的实验条件,制定可行的实验参数和流程,在4H-SiC衬底上制备了AlN薄膜,经测试表征,表明制备出的氮化铝薄膜晶向好、表面质量优良的氮化铝薄膜,满足本传感器工艺要求。综上所述,本文以氮化铝作为绝缘层的MISiC SBD高温氢敏传感器作为研究对象,设计和优化了传感器结构,仿真分析了传感器的I-V特性,探究了传感器绝缘层的制备条件。通过仿真结果可以得出,传感器最优绝缘层厚度区间为1.45-2.32nm,当绝缘层厚度为2nm时,电流分辨率为1.26mA,灵敏度为54%,当氢气浓度小于200ppm时,电流分辨率良好,当氢气浓度大于200ppm时,传感器线性度较好。通过实验结果可以得出,在脉冲频率为5Hz,激光能量密度为3J/cm~2,靶基距为50mm条件下,能够制备出晶面为(111)方向,晶粒尺寸为26.6nm,表面粗糙度为1.163nm的氮化铝薄膜。(本文来源于《河南大学》期刊2019-06-01）
解文军,梁秋生[5]（2019）在《传感器系列6:气敏传感器及应用电路》一文中研究指出气敏传感器是用来检测气体类别、浓度和成分的传感器。气体种类繁多,性质落不相同,所以气体分析、检测的方法也因气体的种类、成分、浓度和用途而异。目前应用的气体检测方法主要有电气法、电化学法、光学法等,其中应用最广泛的检测方法是电气法,即利用气敏器件(主要是半(本文来源于《电子报》期刊2019-05-19）
韩璐,邢梦珂,陈继昆,屠康[6]（2019）在《基于气敏传感器检测草莓腐烂的移动式设备研发》一文中研究指出目的研发一款基于气敏传感器对草莓腐烂进行移动式检测的电子鼻设备。方法根据健康/劣变草莓的挥发性成分变化选择了6个金属氧化物传感器,并将传感器阵列与移动单元及计算机结合构建移动式电子鼻设备,在基于C#语言开发的软件系统控制下运行。在密闭空间内提取"红颜"草莓的顶部空气,传感器接触特异性气体产生电信号,经模数转换和数据分析实现对腐烂果实的定位识别。结果各传感器对草莓的挥发性气味响应不同,且腐烂草莓与完好草莓的挥发性气味存在差异。验证试验表明当密闭时间为5 min,定点检测时长为20s时采用移动式传感器阵列进行腐烂定位效果较好,单层草莓单点和多点腐烂源定位结果与实际腐烂源位置的直线偏差为±3 cm以内。结论研发的电子鼻设备可满足对单层草莓进行腐败检测和腐烂源定位的要求,同时也为草莓腐烂的检测提供了一种移动式无损检测参考装置。(本文来源于《食品安全质量检测学报》期刊2019年09期）
闫胜男[7]（2019）在《高性能的氧化铟半导体气敏传感器的研究》一文中研究指出环境问题越来越成为人们关注的焦点,有害气体是目前环境污染和威胁生命健康的重要因素之一,因此开发高性能的气敏传感器快速精准的检测有害气体是目前研究的热点。本论文以In_2O_3气敏材料为研究对象,采用不同方法设计合成In_2O_3纳米结构材料并对其进行改性提高其气敏性能,从而制作了具有高性能的H_2S、NO_2和H_2传感器。主要研究包括:1)采用溶胶-水热法合成出In_2O_3纳米棒(长110 nm,直径35 nm),然后利用NaBH_4还原法在In_2O_3纳米棒的表面均匀修饰直径为10~15 nm的Ag纳米颗粒,得到Ag-In_2O_3纳米棒复合材料。XRD和XPS分析证明Ag元素在In_2O_3纳米棒表面以单质银的形式存在。Ag可以增强氧的化学吸附,提高由于溢出效应而引起的H_2S分子与氧离子之间的相互作用。同时Ag和In_2O_3纳米棒之间的电子转移也能够增强其气敏性能。因此,Ag纳米颗粒改性的In_2O_3纳米棒可以提高传感器对H_2S的气敏性能,在室温下检测H_2S气体具有很高的灵敏度。据实验结果得出,掺杂Ag纳米颗粒的比例为13.6 wt%时,对H_2S具有最好的气敏性能。在室温下,对20 ppm H_2S的响应值为93719,检测限为0.005 ppm。基于Ag-In_2O_3纳米棒复合材料的气敏传感器对H_2S的检测还表现出良好的可逆性、选择性以及优异的重复性和稳定性。2)采用十六烷基叁甲基溴化铵(CTAB)作为表面活性剂先制备出In(OH)_3纳米材料,然后退火得到In_2O_3纳米棒,并以此In_2O_3纳米棒为传感材料制作成气敏传感器。该传感器在较低的工作温度下对氧化性气体NO_2和还原性气体H_2S均表现出良好的气敏性能。在100 ~oC下,该传感器对于100 ppm NO_2的响应值为336,响应-恢复时间分别为18和31秒;在室温(RT)下对于60 ppm H_2S的响应值为1461,响应-恢复时间分别为86和111秒。对NO_2和H_2S两种气体,该传感器的检测限分别为0.001 ppm(100 ~oC)和0.005 ppm(25 ~oC)。此外,该传感器还具有良好的重复性、选择性和长期稳定性。3)采用水热法合成出介孔结构的In_2O_3纳米材料并将其制作成传感器。由于该材料拥有介孔结构,大的比表面积以及表面上有大量的化学吸附氧离子,该传感器在260 ~oC的工作温度下对H_2响应-恢复速度非常快、响应高(对于500 ppm H_2,响应值为18.0,响应-恢复时间分别为1.7 s和1.5 s),而且具有0.01ppm的检测限。此外,该传感器也表现出很好的重复性和长期稳定性。(本文来源于《电子科技大学》期刊2019-05-01）
杜立婷[8]（2019）在《多孔复合半导体氧化物材料的构建及其气敏传感器研究》一文中研究指出近年来,由于经济的持续提升,我国人民群众的生活质量也有了相应的改善,但是在发展经济的同时由于大量有毒害废气的排放对环境以及人的健康状况造成了很大伤害。因此,越来越多的人们在物质生活满足的同时对环境安全也有了更多的关注。为了实时有效的检测这些存在于身边的毒害气体,气敏传感器便应运而生,并且被广泛地应用于室内外气体的检测。气敏传感器最核心的部分之一就是敏感材料,而其中涉及最多的就是半导体氧化物。由于逐步严格的监测要求,传统半导体氧化物便不能再满足需求。因此,通过环境友好、方法简单的路径来调控半导体氧化物的组成及形貌进而提高其制成传感器的气敏性能已是形势所需。本文通过水热法和溶剂热法成功地制备了具有不同形貌的半导体氧化物材料,并通过煅烧和掺杂来设计与构建材料的结构和组成,以期提高其气敏性,同时提出了可能的气体敏感机理。主要研究内容如下:1、通过简单的水热法以及不同高温煅烧成功合成了分级多孔和无孔SnO_2微米花,并通过X射线衍射(XRD)和能量色散谱图(EDS)探究了产物的微观结构,利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和氮气吸附脱附来表征其形态。制作了基于所得样品的气敏传感器并探究了其相关特性。研究结果表明,240℃的最佳操作温度时,在500℃高温下煅烧所得的分级多孔SnO_2微米花对100 ppm乙醇的灵敏度是205.6,响应-恢复时间为3 s和45 s,其测量下限为0.1 ppm(灵敏度为1.9)。而在400℃煅烧所得无孔SnO_2微米花材料对100ppm乙醇的灵敏度、响应恢复时间及检测限分别为:52.9,3 s和145 s,和1.0ppm(灵敏度为2.0)。由此可知,分级多孔SnO_2微米花比无孔SnO_2微米花表现出更优的气敏性能。2、利用环保易行的水热法制备了Ga掺杂和未掺杂的SnO_2多孔微米花,并通过XRD、EDS、X射线光电谱图(XPS)、SEM以及氮气吸附脱附等表征实验确定所制备材料的组成及其结构,制作并比较了基于两种材料所制成器件的性能。研究显示,230℃是两种材料共同的最佳工作温度。在此温度下,基于3 wt%Ga掺杂的SnO_2多孔微米花器件对甲醛表现出更高的灵敏度(95.8/50 ppm),是纯SnO_2多孔微米花器件灵敏度(21.2/50 ppm)的4.5倍。其响应恢复时间为3 s和39 s,并且该器件还拥有低的检测下限(3.0/0.1 ppm),和良好的选择性。3、采用溶剂热法制成了纯Fe_2O_3微米球和Gd_2O_3/Fe_2O_3复合疏松微米球,并通过相关表征方法研究了它们的元素组成和形态结构。基于所制备的材料制作了气敏传感器并对他们的气敏性进行了系统的比较。结果表明,基于Gd_2O_3/Fe_2O_3复合疏松微米球传感器在220℃的最佳温度下于多种气体中对丙酮表现出优异的气敏性,其灵敏度为268.6(100 ppm),是纯Fe_2O_3微米球器件灵敏度的9.8倍(27.5/100 ppm),其对应的响应恢复时间分别为6 s和36 s。另外,Gd_2O_3/Fe_2O_3疏松微米球传感器检测限可低至0.1 ppm(灵敏度2.3),而且其选择性优异。(本文来源于《吉林大学》期刊2019-05-01）
郭熠城[9]（2019）在《基于普鲁士蓝的金属氧化物型气敏传感器研究》一文中研究指出近些来,空气质量监测、工业生产排放监控、有毒气体监测、医疗诊断等领域对气体监测的需求增加,使得气敏传感器的相关研究进步非常的明显。基于金属氧化物的半导体型气敏传感器由于其高灵敏度、高可靠性和操作简易等优点,成为实时监测的首选类型。气敏传感器的基础与核心是敏感材料。传感器的气敏特性与材料的形貌、微观构造以及化学组成等密切相关。目前,很多研究都致力于开发新的方法与技术以期获得更高性能敏感材料。研究表明以金属-有机框架(MOFs)为前驱体制备金属氧化物的路径可以对材料形貌与微观组分等参数进行有效的调控,进而使得材料的气敏特性得到优化。本论文依据普鲁士蓝(PB)基本结构简单,易于调控的优势,以其为前驱体制备Fe2O3及其复合物。前期在花样状普鲁士蓝的基础上研究了转化温度对氧化物气敏性能的影响,而后设计并制备了立方与球体两种形貌的普鲁士蓝,研究其气敏行为。最后,首次实现了通过与p型氧化物Cu4O3复合构筑具有异质结结构的复合材料,降低了材料的工作温度,并极大的提升材料的灵敏度与选择性。主要研究内容包括:首先,利用水热法,在80℃条件下通过表面活性剂N-N二甲基甲酰胺(DMF)的控制得到了纳米花状形貌的普鲁士蓝,将其分别在350℃与550℃两种温度下煅烧得到Fe2O3-350、Fe2O3-550两种敏感材料,并研究两种材料气敏行为的差异。研究表明,在两种温度下得到的材料均能够很好的保持原有材料的形貌,并呈现出多级结构。气敏测试发现,在更高的温度下(550℃)得到的Fe2O3具有更好的气敏性能。两者的最佳工作温度为200℃。但是Fe2O3-550对5 ppm H2S的响应值为12.83,明显大于Fe2O3-350(对5 ppmH2S响应为7.54)。两者的响应-恢复时间都在分钟级别,响应时间分别为4.95与4.88分钟,恢复时间为18.28与16.59分钟。对不同气体的选择性测试表明Fe2O3-550具有良好的选择性能。同时,该材料能够在相对湿度波动很大的情况下保持很好的工作稳定性。随后的测试发现Fe2O3-550在ppb级别的浓度也表现得很好,并且在呈现出线形的响应关系,说明具有定量检测ppb级别浓度的能力。此外,Fe2O3-550在重复性以及重现性等反面都有很好的表现。其次,通过合成温度(80℃、140℃)与表面活性剂聚乙烯吡咯烷酮(PVP)的控制得到了纳米球、纳米立方两种不同形貌的普鲁士蓝。在550℃热处理后得到了保持各自原形貌的两种Fe203,并以此为敏感材料制备传感器件。通过气敏测试系统测试,发现两种材料最佳工作温度在200℃,此时对5 ppm的H2S的响应分别为30.8、22.2。响应时间分别为2.44与1.85分钟,恢复时间分比为6.09与9.1分钟。与前述材料相比有了极大的提升。并且两种形貌的材料都具备良好的选择性。尤其对水分子的干扰具有表现出较强的耐受能力,即使在高湿度的条件下仍然能够很好地工作。两种材料都对ppb级别浓度H2S表现出很好监测能力,并且具备定量检测条件。同时在重复性能与长期稳定性方面都有极其优异的表现。总体上优于目前国内外报道基于纯相Fe2O3传感器对H2S的检测性能。最后,选择以纳米立方普鲁士蓝为研究对象,利用水热法,结合醋酸铜构筑具有异质结结构的复合材料Cu4O3/Fe2O3。按照Cu:Fe比例的不同制备了四种材料(0、1:10、1:15、1:20),制备气敏器件并进行系统性气敏性能测试。研究表明,当Fe:Cu为1:15时材料具有最佳气敏性能。与前面制备的敏感材料相比该材料的工作温度降低为100℃,与此同时其对2 ppm H2S响应达到59.23,灵敏度较纯相Fe2O3有了极大提升。而且其具有更加优异的选择性能,对100 ppm的丙酮、氨气、二氧化硫等基本不产生响应。同时材料仍然保持了在ppb浓度级别的良好表现,具有对低浓度H2S进行检测的能力。(本文来源于《中国工程物理研究院》期刊2019-04-20）
李彤彤[10]（2019）在《室温单根Sb掺杂ZnO微米线非平衡电桥式气敏传感器的制备及性能研究》一文中研究指出氧化锌(ZnO)是一种直接带隙(3.37eV)半导体材料,被广泛应用于发光器件,太阳能电池和气体传感器等领域。在过去的几十年里,金属氧化物半导体被广泛应用于探测各种类型的有毒气体,在众多金属氧化物中,ZnO因其对挥发性有机化合物气体具有较高响应度,较好的稳定性和敏感性成为研究热点材料之一。目前ZnO基气体传感器的工作温度普遍偏高,长期在高温环境下工作会导致气体传感器的稳定性和使用寿命降低,还会增加传感器的功耗。此外,当传感器应用于探测高温易燃气体时,也存在爆炸的可能。因此,提高传感器的气敏性能和降低测试温度是十分必要的。本文采用化学气相沉积(CVD)方法,生长出了超长、大尺寸的Sb掺杂ZnO微米线,并基于非平衡电桥原理,制作出了单根Sb掺杂ZnO微米线非平衡电桥式气敏传感器,室温下并对器件在丙酮和乙醇气体中的气敏特性进行了测试研究。论文的主要研究内容如下:(1)通过使用化学气相沉积法,成功制备出超长、大尺寸的Sb掺杂ZnO微米线。基于非平衡电桥原理,利用单根Sb掺杂ZnO微米线作为非平衡电桥的一个桥臂,制作出了可以在室温环境下工作的气敏传感器原型器件。研究表明,在室温(25℃)条件下,通过器件对丙酮和乙醇气体的探测,发现器件对丙酮气体具有更好的选择性,当丙酮气体浓度为200ppm时,器件的响应时间为0.2s,恢复时间为0.3s,响应度高达243%。此外,通过与传统电阻式气体传感器相比,采用这种非平衡电桥式传感器,具有更高的响应速度,更快的响应和恢复时间。本论文的研究为ZnO基微/纳米材料在气体探测器中的应用提供了研究基础。(2)研究了不同直径Sb掺杂ZnO微米线和施加365nm紫外光照射对单根Sb掺杂ZnO微米线非平衡电桥式气体传感器气敏性能的影响。在室温情况下,通过对直径分别为15μm,30μm和40μm的Sb掺杂ZnO微米线所制备的气体传感器,依次对50ppm的丙酮气体检测发现,直径为40μm的微米线对丙酮气体的响应度最大,其值为103%,结果表明微米线的直径越大,其气敏探测性能就越好。此外,在器件检测气体时,对微米线同时施加365nm紫外光照射,发现施加紫外光照射比未施加紫外光照,器件对丙酮气体的响应度有所提高,这表明施加紫外光照射可以提高传感器的气敏性能。(本文来源于《辽宁师范大学》期刊2019-04-01）
气敏传感器论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
近年来,随着生活水平提高,健康生活和安全保护备受社会关注,对有毒易燃易爆气体的检测愈来愈重视,尤其表现在排放检测、消防安全、石油化工和航天航空方面等。金属氧化物半导体气敏传感器由于具有高灵敏度、低成本、稳定性好等优点而被广泛应用于气敏传感领域。叁氧化二铟(In_2O_3)作为一种典型n型宽禁带半导体,因具有透明导电、电阻率低、气敏性能较好等特点成为一种良好的气敏材料。本文综述了近几年来微纳结构In_2O_3气敏传感器的研究进展,分别对In_2O_3气敏材料的结构、气敏机理、不同形貌、金属和金属氧化物改性以及碳材料复合等方面进行介绍,分析了In_2O_3气敏传感器存在问题,并进一步指出In_2O_3气敏传感器在未来的研究方向。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
气敏传感器论文参考文献
[1].钟义林,唐巍飚,李学辉,陈希尧,丁臻敏.家用便携式半导体气敏传感器法甲醛检测仪性能研究[J].中国建材科技.2019
[2].周仕强,卢清杰,陈明鹏,张瑾,柳清菊.微纳米结构In_2O_3气敏传感器研究进展[J].功能材料与器件学报.2019
[3].徐志武.金属离子掺杂及金属氧化物复合纳米TiO_2的气敏传感器研究[D].华南理工大学.2019
[4].高汉斌.一种4H-SiC基MISSBD高温气敏传感器的研究[D].河南大学.2019
[5].解文军,梁秋生.传感器系列6:气敏传感器及应用电路[N].电子报.2019
[6].韩璐,邢梦珂,陈继昆,屠康.基于气敏传感器检测草莓腐烂的移动式设备研发[J].食品安全质量检测学报.2019
[7].闫胜男.高性能的氧化铟半导体气敏传感器的研究[D].电子科技大学.2019
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[10].李彤彤.室温单根Sb掺杂ZnO微米线非平衡电桥式气敏传感器的制备及性能研究[D].辽宁师范大学.2019
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