论文摘要
为实现894.6 nm低阈值、高稳定性、单模激光输出,设计了具有不同台面刻蚀结构的垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件,研究了台面直径和氧化孔结构对器件激射性能的影响。研究结果表明:VCSEL台面直径越大,阈值电流越大;氧化孔径越偏向圆形,边模抑制比越高。制备了氧化孔为圆形、直径为4.4μm的VCSEL器件,该器件在70～90℃工作温度及0.6 mA驱动电流下实现了894.6 nm单模激光输出,边模抑制比高于35 dB。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 梁静,贾慧民,冯海通,唐吉龙,房丹,苏瑞巩,张宝顺,魏志鹏
关键词: 激光器,垂直腔面发射激光器,台面结构,氧化孔,激射性能,边模抑制比
来源: 中国激光 2019年03期
年度: 2019
分类: 基础科学,信息科技
专业: 物理学,无线电电子学
单位: 长春理工大学理学院高功率半导体激光器国家重点实验室,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
基金: 国家重点研发计划项目(2017YFB0402800),国家自然科学基金(61504010,61504022),吉林省科技厅中青年科技创新领军人才及团队项目(20160519007JH),吉林省科技厅重大科技招标专项(20160203015GX)
分类号: TN248
页码: 20-25
总页数: 6
文件大小: 948K
下载量: 228
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