位移测量系统论文_李家奇,李静

导读:本文包含了位移测量系统论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:测量,位移,涡流,光栅,线性,多维,传感器。

位移测量系统论文文献综述

李家奇,李静^[1]（2019）在《基于FPGA的激光位移测量系统设计》一文中研究指出采用激光叁角法原理,设计了一种基于FPGA(Field-Programmable Gate Array)的激光位移测距系统。该系统利用FPGA可编程设计数字电路特点,设计了DDS(Direct Digital Synthesizer)信号发生器,用以实现对半导体激光器的调制;采用了快速傅里叶变换等信号处理技术实现了对信号的解调,提高了系统的抗干扰能力和系统的集成度。经系统标定,系统测量范围可以达到20mm,精度为24μm。(本文来源于《工业控制计算机》期刊2019年08期）

高国旺,董磊,陈凯莉,段鹏伟^[2]（2019）在《基于电涡流位移传感器的微间隙测量系统研究》一文中研究指出为了研究电涡流位移传感器有效检测距离与待测金属导体横截面积两者之间的关系,在介绍电涡流位移传感器工作原理的基础上,搭建了一种微间隙动态测量系统。采用了基于最小二乘法的曲线拟合分析法对实验数据进行研究。实验结果表明,当传感器探头型号确定时,电涡流传感器的有效检测距离将会随着待测金属导体横截面积的减小而减小,测量结果的准确度下降。搭建的这种微间隙测量系统与研究结果对于电涡流位移传感器的实际应用具有一定的参考意义。(本文来源于《国外电子测量技术》期刊2019年08期）

张萍,仲军^[3]（2019）在《电涡流传感器小位移测量系统设计及性能分析》一文中研究指出根据电涡流传感器的测距原理,设计并搭建了电涡流传感器的测量电路,外加螺旋测微器、电源和数显电压表构成了电涡流传感器的测距系统,研究了传感器与被测金属导体之间距离变化、被测金属导体材质及面积大小对传感器性能和灵敏度的影响,得到它们之间的定性关系,从而为实际应用中选择电涡流传感器进行小位移时满足较高灵敏度的要求提供了有利的指导依据。(本文来源于《自动化技术与应用》期刊2019年07期）

云攀攀,张文涛,王献英^[4]（2019）在《超精密掩模台位移测量系统热漂移研究》一文中研究指出针对28nm浸没式扫描光刻机掩模台的光栅干涉仪位移测量系统,开展了系统热漂移研究,并进行了热漂移测试实验与结果分析。该位移测量系统采用外差对称式四细分的光路设计以及栅距为1μm的二维光栅,配合2048倍电子细分的相位计数卡,其系统分辨力达到了0.12nm。热漂移测试结果显示:该系统的热漂移X向为17.86nm/K,Y向为41.43nm/K。在光刻机掩模台的实际测量环境中,测量环境的温度波动稳定在5mK以内,此时系统的热漂移X向可以控制在0.09nm以内,Y向可以控制在0.21nm以内。实验数据表明系统的热漂移误差小于1nm,满足掩模台亚纳米位移测量精度需求。(本文来源于《仪器仪表用户》期刊2019年07期）

王韵致,谢芳,陈龙辉,徐海波,李明佳^[5]（2019）在《复合光纤马赫-曾德尔外差干涉位移在线测量系统》一文中研究指出研究了一种复合光纤马赫-曾德尔外差干涉测量系统,并采用该系统对位移进行在线测量。基于光纤光栅只反射布拉格波长的特性,构建了两个独立但光程几乎重合的光纤马赫-曾德尔干涉仪。其中的一个马赫-曾德尔干涉仪用于完成测量工作,另一个马赫-曾德尔干涉仪用于监测环境干扰,补偿环境干扰对测量结果的影响,使测量系统适合用于在线测量。位于马赫-曾德尔干涉仪参考臂的声光调制器组可对参考光进行移频,当参考光与测量光会合时形成外差干涉信号,实现外差干涉测量。实验中,该系统对100μm位移进行10次重复测量的标准差为6 nm。(本文来源于《中国激光》期刊2019年09期）

吕强^[6]（2019）在《基于衍射光栅的外差Littrow式精密位移测量系统关键技术研究》一文中研究指出精密测量技术是现代加工和制造领域的基础,兼顾大量程、高精度、多维度的精密测量设备对推动先进加工业和制造业的发展有非常重要的意义。光栅位移测量系统作为一种精密位移测量设备,以其精度高、量程大、结构简单紧凑、受环境影响小等优点备受国内外研究学者关注,相关产品已经广泛应用于多种精密测量的场合。目前对光栅位移测量系统的研究虽然很多,但是该系统还存在着大量程与高分辨力、高精度之间的矛盾,多维度与小体积、大量程之间的矛盾等问题。这些问题严重限制了光栅位移测量系统的应用,制约了其向小型化、商品化方向发展。鉴于此,本文对基于衍射光栅的外差Littrow式精密位移测量系统的关键技术进行研究,旨在解决上述矛盾,为光栅位移测量系统向产业化发展奠定坚实的基础。本文具体研究内容如下:第一,研究了基于衍射光栅的精密位移测量系统的测量理论。用严格的耦合波理论建立了分析一维梯形光栅衍射效率的理论模型;利用Doppler频移原理、光的干涉原理和位移转换原理推导了位移测量的基本原理;列举了偏振光和常用偏振光学元件的琼斯矩阵表示方法。第二,提出了一个小型化、高精度、外差式光栅二维位移测量系统。理论分析了Littrow结构进行二维位移测量的基本原理以及光栅、读数头和位移平台之间的偏摆关系对该系统位移测量的影响;搭建了原理样机并与双频激光干涉仪进行了位移测量对比实验,在两个维度上实现了最小分辨力3nm,测量范围10mm的高精度位移测量,系统还具有优于激光干涉仪的静态稳定性;该二维位移测量系统结合Littrow结构和外差测量原理,读数头结构简单,便于集成和安装,测量范围大,精度高,对光栅位移测量系统向产品化发展有重要意义。第叁,提出了衍射光栅五维自由度精密测量系统。理论分析了利用衍射光栅结合位置灵敏探测器进行叁维角度测量的基本原理;在二维位移测量系统的基础上引入高精度位置灵敏探测器搭建了原理样机并与双频激光干涉仪和光电自准直仪进行了位移及角度测量对比实验,实现了分辨力3nm的高精度二维位移测量以及分辨力优于1?的高精度叁维角度测量;该五维自由度精密测量系统结构简单易集成,分辨力和精度高,位移测量范围大,实用性强,对多维度光栅位移测量系统向产品化发展有重要意义。第四,系统分析了光栅对外差Littrow式光栅位移测量系统位移测量的影响。模拟了光栅与读数头之间的位置误差对位移测量的影响,揭示了光栅偏摆误差是系统最为敏感的误差,对系统的装调以及测量环境的选择有重要的指导意义;利用几何光学原理建立了光栅面形误差、刻线误差对外差Littrow式光栅位移测量系统位移测量影响的理论模型,提出了一种快速检测和计算该误差的方法,搭建了外差Littrow式光栅位移测量系统原理样机并与双频激光干涉仪进行了位移测量对比实验,实验验证了该方法的正确性并且具有速度快、精度高的特点,对提升系统精度有重要意义;利用琼斯矩阵分析方法建立了Littrow式光栅位移测量系统光学元件偏振特性与信号强度之间关系的理论模型,模拟了光栅的衍射效率和偏振特性对位移测量的影响,揭示了光栅?1级衍射光对P光和S光衍射效率不同对非线性误差影响最大,对于光栅的设计和系统精度的提升有重要的理论意义。第五,提出了一种大量程、高精度的外差式光栅一维位移测量系统。采用光栅交错拼接的方式扩大了系统量程,利用双层Littrow结构设计了小型化的读数头,搭建了原理样机并与双频激光干涉仪进行了位移测量对比实验,验证了原理的正确性,实现了量程50mm,分辨力3nm的高精度位移测量;模拟了交错拼接光栅的拼接过程,为光栅的制作奠定了基础;该一维位移测量系统测量范围大、精度高、读数头结构简单,对光栅位移测量系统向大量程、高精度发展有重要意义。(本文来源于《中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所)》期刊2019-06-01）

张晓燕,冯锋^[7]（2019）在《基于相位分析的激光散斑图像位移测量系统设计》一文中研究指出针对传统的激光散斑图像位移测量系统存在测量误差较大、测量时间较长等问题,设计了一种基于相位分析的激光散斑图像位移测量系统。通过激光散斑测量系统原理以及被测物的特性,构建基于相位分析的激光散斑图像位移测量系统。分别研究了激光散斑图像处理的关键技术以及适用范围。在基于Matlab平台的基础上,将图像采集库与图像库相结合,引用C++语言构建相应的激光散斑图像位移测量软件,实现基于相位分析的激光散斑图像位移测量。实验结果表明,本文系统能够快速、准确进行激光散斑图像位移测量。(本文来源于《激光杂志》期刊2019年05期）

李慧妍,姜彪,李荣正,戴国银^[8]（2019）在《基于LVDT微位移测量系统及外围电路设计与实现》一文中研究指出针对现有微位移测试系统的诸多不足,设计了一种基于LVDT的微位移测量系统。采用线性差动变压器LVDT作为系统位移敏感元件,通过搭建实验测试平台,对系统进行了一系列的静态测试,并着重对微位移测量系统样机进行了测试分析。实验测试结果表明,系统在量程400内,能够手动进行任意标定,分辨率约为0.1,精度约为2～3,相对误差小于4%,线性度可达0.06%以内,时间稳定性约为0.2/h。(本文来源于《数码世界》期刊2019年05期）

陈欢欢^[9]（2019）在《基于激光干涉原理的微振动位移测量系统关键技术》一文中研究指出传统的微振动位移测量方法已经很难实现现代工业对非接触、长时间、高稳定性的测量要求。采用激光干涉法设计的干涉仪可以很好的解决这一问题。然而,目前的大多数激光干涉仪光路系统受环境影响易在数据上产生直流漂移现象,降低了系统的稳定性,且仪器设备存在便携性不足,测量速度慢等缺点。为此本文从激光干涉测量原理上出发,通过分析研究传统干涉系统,从光路结构、硬件电路、软件算法叁个方面进行改进,设计出光路结构紧凑、可自适应去偏置的微振动位移测量系统。首先,本文通过比较激光干涉测距法中的零差干涉与外差干涉的优缺点,选择了基于零差干涉原理的系统测量方案总体设计。其次,在参考零差干涉光路系统前提下,采用光路微偏方法重新设计了系统光路,来提高获取清晰干涉条纹的能力。并改进光路机械结构,实现了光路可调性与系统的小型化、便携化。第叁,在软硬件系统方面,通过设计了去直流偏置电路与二分法调偏置程序,实现了系统自适应去偏置的能力,极大的消除了由背景光强所带来的直流漂移对系统的干扰。并通过设计程控放大电路,得到了适合后续数据处理的放大信号。最后通过设计椭圆拟合算法与解包裹算法程序,实现干涉信号由位移数据的转化。并通过上位机CVI控制界面把位移数据实时显示出来。本文还设计了迟滞比较电路将干涉正弦信号转化为方波信号,通过下位机STM32采样,实现了快速条纹计数,为提高位移测量速度提供了条件。最后,通过对压电偏摆镜输出微振动信号的测量,进行了系统的相关稳定性测试,并提出了今后系统还需改进的地方。(本文来源于《湖北工业大学》期刊2019-05-01）

蔡庆东,贾生尧,李青,申屠南瑛^[10]（2019）在《基于多互感机理的地下位移测量系统研究》一文中研究指出利用线圈互感原理,并结合硬件电路设计一种地下位移测量系统,通过测量单元的对称结构实现对地下垂直位移与水平位移进行检测。测量系统由若干个相同的测量单元通过RS485现场总线串联组成,测量单元将互感线圈与硬件电路集合于一体。本文设计了由运动控制器为核心的实验平台模拟地下位移进行电压值的采集与标定,通过所得的电压值结合偏最小二乘回归方法进行数学模型的建立,最终实现对地下位移的测量。所建的模型对垂直位移与水平位移量的预测值最大误差1.1 mm,大部分误差在0.5 mm以下。实验结果说明本文中所设计的测量系统能够对地下垂直位移与地下水平进行准确预测,相比于其他地下位移测量方法,该方法对被测体的检测更全面且有更大的测量范围更多的应用场合。(本文来源于《科技通报》期刊2019年04期）

位移测量系统论文开题报告

（1）论文研究背景及目的

此处内容要求：

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例：

为了研究电涡流位移传感器有效检测距离与待测金属导体横截面积两者之间的关系,在介绍电涡流位移传感器工作原理的基础上,搭建了一种微间隙动态测量系统。采用了基于最小二乘法的曲线拟合分析法对实验数据进行研究。实验结果表明,当传感器探头型号确定时,电涡流传感器的有效检测距离将会随着待测金属导体横截面积的减小而减小,测量结果的准确度下降。搭建的这种微间隙测量系统与研究结果对于电涡流位移传感器的实际应用具有一定的参考意义。

（2）本文研究方法

调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

位移测量系统论文参考文献

[1].李家奇,李静.基于FPGA的激光位移测量系统设计[J].工业控制计算机.2019

[2].高国旺,董磊,陈凯莉,段鹏伟.基于电涡流位移传感器的微间隙测量系统研究[J].国外电子测量技术.2019

[3].张萍,仲军.电涡流传感器小位移测量系统设计及性能分析[J].自动化技术与应用.2019

[4].云攀攀,张文涛,王献英.超精密掩模台位移测量系统热漂移研究[J].仪器仪表用户.2019

[5].王韵致,谢芳,陈龙辉,徐海波,李明佳.复合光纤马赫-曾德尔外差干涉位移在线测量系统[J].中国激光.2019

[6].吕强.基于衍射光栅的外差Littrow式精密位移测量系统关键技术研究[D].中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所).2019

[7].张晓燕,冯锋.基于相位分析的激光散斑图像位移测量系统设计[J].激光杂志.2019

[8].李慧妍,姜彪,李荣正,戴国银.基于LVDT微位移测量系统及外围电路设计与实现[J].数码世界.2019

[9].陈欢欢.基于激光干涉原理的微振动位移测量系统关键技术[D].湖北工业大学.2019

[10].蔡庆东,贾生尧,李青,申屠南瑛.基于多互感机理的地下位移测量系统研究[J].科技通报.2019

论文知识图

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