论文摘要
研究了一个新型反应,即SiF4气体与CH4气体反应生成无水HF气体和SiC固体。该反应在最大能量为20eV的等离子反应器的固定床中进行,反应一段时间后,收集反应器壁上固体,通过分析固体中的碳含量来判断四氟化硅和甲烷的反应情况。结果表明:四氟化硅和甲烷可以发生反应,但是速度十分缓慢。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 李玉叶,黄忠,田强
关键词: 等离子体反应器,四氟化硅,甲烷,固定床,碳化硅
来源: 云南化工 2019年05期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 云南云天化股份有限公司研发中心,云南省化工研究院
基金: 云南省科技创新平台建设计划2012CF028和2015DC008的支持
分类号: TQ124.3;TQ163.4
页码: 18-20
总页数: 3
文件大小: 988K
下载量: 41
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