论文摘要
研究多晶硅工业的主要副产品四氯化硅（SiCl4）在离子液体中的溶解、电沉积过程。结果表明,SiCl4在离子液体中的溶解度随温度升高而降低,离子液体的导电率随温度升高而增加。在阴离子为[TNf2]的情况下,阳离子为[N1114]的季铵盐类离子液体比咪唑类[Bmim]离子液体具有更好的SiCl4溶解度和导电性。SiCl4在季铵盐类离子液体的溶解度随烷基主链长度增加而增大,随侧链长度增加而降低。[N1114][TNf2]和SiCl4之间形成C-Cl、Si-O和C-Si键,在[N1114][TNf2]-SiCl4体系中Si4+的还原电位为-2.2V。在温度25℃、SiCl4浓度0.3mol/L、电流密度20A/m2、电解时间2h的条件下可电沉积得到较为致密的硅薄膜,呈球形颗粒状分布。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 李晓,张承龙,巫亮,马恩,王瑞雪,苑文仪,白建峰,王景伟
关键词: 四氯化硅,离子液体,溶解,电沉积
来源: 有色金属(冶炼部分) 2019年04期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 上海第二工业大学资源循环科学与工程中心,上海电子废弃物资源化协同创新中心,上海大学理学院物理系
基金: 国家自然科学基金资助项目(51474146),上海第二工业大学校重点学科(XXKZD1602),上海第二工业大学研究生项目基金(EGD17YJ0002)
分类号: TQ127.2
页码: 68-72
总页数: 5
文件大小: 233K
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