反应动力学法评价MOCVD过程中金属前驱盐的稳定性（英文）

论文摘要

基于MOCVD法制备YBCO超导体过程中常用的、具有不同蒸发特性的3种金属前驱盐（Y（DPM）3,Cu（DPM）2,Ba（DPM）2）,采用非等温热重分析法对比研究3种金属前驱盐在蒸发过程中的热稳定性和分解动力学特性,并依据典型动力学方法（Ozawa, Kissinger和Friedman法）获得各金属前驱盐在蒸发过程中的表观活化能（Ea）及其变化规律,进而分析其在蒸发过程中的热稳定性。结果表明:Ba（DPM）2金属前驱盐在蒸发过程中伴随发生热分解反应,且分解过程对温度变化敏感,而Y（DPM）3和Cu（DPM）2可以稳定蒸发。结合TGA-DSC分析证实,采用固相反应动力学方法来评价MOCVD过程中金属前驱盐的热稳定性是可靠的。

论文目录

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张腾,戴少涛,马韬,胡磊,王邦柱

关键词: 金属前驱盐,热稳定性,化学反应动力学

来源: 稀有金属材料与工程 2019年12期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑,基础科学,信息科技

专业: 物理学,无线电电子学

单位: 北京交通大学

基金: National Key Research and Development Program（2017YFB0902302）,National Natural Science Foundation of China（51477165）,Fundamental Research Funds for the Central Universities（2017RC009）

分类号: TN304.055;O511.3

页码: 3824-3828

总页数: 5

文件大小: 547K

下载量: 22

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